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涌淳半导体(无锡)有限公司曹晓光获国家专利权

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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种低反射薄膜厚度光学测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120970512B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511470355.1,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权一种低反射薄膜厚度光学测量装置是由曹晓光;李峰;邵秋新;张同雷设计研发完成,并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种低反射薄膜厚度光学测量装置在说明书摘要公布了:本发明涉及薄膜厚度光学测量技术领域,具体为一种低反射薄膜厚度光学测量装置,包括设备底座,所述设备底座上端一侧安装有动力机构,所述动力机构上设有测量检测组件和竖轴件,所述竖轴件的下端固定有转盘件;所述设备底座的上端另一侧设有夹固机构,所述夹固机构上设有承载框,所述承载框上设有调节机构。本申请能快速实现晶振探头组件的切换作业,以便快速切换不同的晶振探头组件进行使用,避免常规方案中单一晶振探头组件更换影响设备运作的情况,提升光学膜厚度的检测效率;还能有效对光学薄膜料进行输送,以便提升低反射薄膜厚度光学测量的精度。

本发明授权一种低反射薄膜厚度光学测量装置在权利要求书中公布了:1.一种低反射薄膜厚度光学测量装置,包括设备底座1,其特征在于:所述设备底座1上端一侧安装有动力机构,所述动力机构上设有测量检测组件5和竖轴件7,所述竖轴件7的下端固定有转盘件6; 所述设备底座1的上端另一侧设有夹固机构,所述夹固机构上设有承载框11,所述承载框11上设有调节机构,所述调节机构与竖轴件7相连接,所述调节机构内设有两个放置管12; 所述转盘件6上等间距开设有多个豁口28,所述转盘件6上等间距设有多个复位机构,所述复位机构上设有移动架组件31,多个移动架组件31分别设置在多个豁口28的上端,所述移动架组件31内的相对侧壁上共同转动连接有正反牙螺杆件32,所述正反牙螺杆件32的两端均螺合有滑动夹固组件25,两个滑动夹固组件25的一端均安装有抵触滚轮件27,所述豁口28的上端两侧均设有限位斜板件26,所述限位斜板件26固定在转盘件6的上端,两个抵触滚轮件27分别和两个限位斜板件26相抵触,两个滑动夹固组件25之间共同抵触有晶振探头组件29; 所述测量检测组件5和其中一个晶振探头组件29相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人涌淳半导体(无锡)有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区城南路228号306室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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