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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种半导体设备的部件运维预测方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120975766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511500303.4，技术领域涉及：G06Q10/20；该发明授权一种半导体设备的部件运维预测方法、系统、设备及介质是由王开兵;孙华设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备的部件运维预测方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体设备的部件运维预测方法、系统、设备及介质，方法包括：在设备运行过程中采集多因子运行数据，并对多因子运行数据进行归一化处理，形成归一化任务执行时长、归一化能耗数据及归一化电流波形序列；基于归一化的多因子运行数据，按照任务类型及残差时间窗口对第一操作臂与第二操作臂的对应数据进行对比，形成任务时长残差特征、能耗残差特征及电流波形残差特征，并联合构建镜像残差特征向量；将镜像残差特征向量输入至预测模型，预测模型对连续时间窗口的残差特征进行分析，生成异常评分集合，并通过双阈值判定机制对固定180°对置双操作臂的工作状态进行异常判定，得到异常结果数据；基于异常结果数据，输出预警提示。

本发明授权一种半导体设备的部件运维预测方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的部件运维预测方法，其特征在于，包括： 多因子运行数据采集与预处理，在设备运行过程中采集固定180°对置双操作臂的多因子运行数据，包括任务执行时长、能耗数据和电流波形序列，并对所述多因子运行数据进行归一化处理，形成归一化任务执行时长、归一化能耗数据及归一化电流波形序列； 镜像残差特征向量构建，基于所述归一化任务执行时长、归一化能耗数据及归一化电流波形序列，按照任务类型及残差时间窗口对第一操作臂与第二操作臂的对应数据进行对比，形成任务时长残差特征、能耗残差特征及电流波形残差特征，并基于三种残差特征联合构建镜像残差特征向量； 预测模型构建与异常检测，将所述镜像残差特征向量输入至预测模型，所述预测模型对连续时间窗口的镜像残差特征向量进行分析，生成异常评分集合，并通过双阈值判定机制对固定180°对置双操作臂的工作状态进行异常判定，得到异常结果数据； 运维提示生成，基于所述异常结果数据，输出预警提示，所述预警提示包括运维提示及异常诊断提示。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海悦匠实业有限公司，其通讯地址为：201612 上海市松江区新桥镇民益路1698S号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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