艾斯尔光电(南通)有限公司陈宏渊获国家专利权
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龙图腾网获悉艾斯尔光电(南通)有限公司申请的专利一种新的光刻掩膜版清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223669772U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423180442.7,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种新的光刻掩膜版清洗装置是由陈宏渊设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新的光刻掩膜版清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种新的光刻掩膜版清洗装置,涉及半导体制造技术领域,包括:清洗主体,所述清洗主体的内侧位置安装一组定位机构,定位机构由第一电动马达、第一驱动架、定位板和定位杆共同组成,定位板共有两个,两个定位板之间安装一个光刻掩膜版,清洗主体的内侧和外侧位置安装一组清洁机构。设置了定位机构实现光刻掩膜版自动定位,光刻掩膜版定位后同时实现托举,方便光刻掩膜版的上下面同时清洗,定位机构中包括了电动马达和弹簧支撑的定位板,定位板的弹性设置避免光刻掩膜版夹伤。
本实用新型一种新的光刻掩膜版清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种新的光刻掩膜版清洗装置,包括:清洗主体1、定位机构2和清洁机构4,所述清洗主体1的内侧位置安装一组定位机构2,其特征在于,定位机构2由第一电动马达201、第一驱动架202、定位板203和定位杆204共同组成,定位板203共有两个,两个定位板203之间安装一个光刻掩膜版3,清洗主体1的内侧和外侧位置安装一组清洁机构4,清洁机构4由第二电动马达401、转动轴402、第二驱动架403、喷水壳体404和喷气壳体405共同组成,喷水壳体404、喷气壳体405共有两组,两组喷水壳体404、喷气壳体405上下分布。
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