睿励科学仪器(上海)有限公司齐国宇获国家专利权
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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223669826U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423205528.0，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型一种晶圆清洗装置是由齐国宇;焦猛江设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆清洗装置，包括脉冲激光器，用于向晶圆发射激光束；能量调节模块，设置于脉冲激光束的激光发射端，用于调节激光束的能量强度；分光镜，将经过能量调节模块后的激光束分为清洗光束和参考光束，清洗光透过分光镜聚焦至晶圆表面，对晶圆进行清洗；第一探测器，接收参考光束，并对参考光束进行能量检测，并输出反馈信号；控制器，接收并分析反馈信号，并向能量调节模块发出调制信号。通过在脉冲激光器的激光发射端增设能量调节模块，可以精准的调节清洗的激光束的能量强度，大大提高了晶圆清洗装置能够应对不同晶圆膜厚清洗的兼容性。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 承载装置，用于承载待清洗的晶圆； 脉冲激光器，位于所述承载装置上方，以向所述晶圆发射激光束； 能量调节模块，设置于所述脉冲激光器的出射端，以调节所述激光束的能量强度； 分光镜，沿所述激光束的传播方向，设置于所述能量调节模块的下方，接收经过所述能量调节模块后的所述激光束，以将所述激光束分为清洗光束和参考光束； 第一探测器，接收所述参考光束，并对所述参考光束进行能量检测，并输出反馈信号； 控制器，接收并分析所述反馈信号，并向所述能量调节模块发出调制信号。
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