渠梁电子有限公司许超奕获国家专利权
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龙图腾网获悉渠梁电子有限公司申请的专利一种基板异物清理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223670365U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520067842.2，技术领域涉及：B23K1/20；该实用新型一种基板异物清理装置是由许超奕;兰建民;冯修琪设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板异物清理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体生产系统，尤其涉及一种基板异物清理装置，其中包括：清理机构，清理机构包括气源、离子中和器、离子枪，气源的下游与离子中和器相连并用于向离子中和器提供气流，离子中和器的下游与离子枪相连并用于向离子枪提供携带离子的气流，离子枪的输出端朝向基板的表面设置并用于朝向基板的表面吹出携带离子的气流；集尘机构，集尘机构临近基板设置，且集尘机构的接收端与离子枪的输出端相对设置，以使得被清理机构吹离的异物被集尘机构接收。借由本实用新型的结构，可通过在拾取基板前借助清理机构将基本表面的异物去除，并通过集尘机构将去除的异物收纳，避免了后续由于异物导致对基板质量的影响。
本实用新型一种基板异物清理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板异物清理装置，用于清理基板表面的异物；其特征在于，所述基板异物清理装置包括： 清理机构，所述清理机构包括气源、离子中和器、离子枪，所述气源的下游与所述离子中和器相连并用于向所述离子中和器提供气流，所述离子中和器的下游与所述离子枪相连并用于向所述离子枪提供携带离子的气流，所述离子枪的输出端朝向所述基板的表面设置并用于朝向所述基板的表面吹出携带离子的气流； 集尘机构，所述集尘机构临近所述基板设置，且所述集尘机构的接收端与所述离子枪的输出端相对设置，以使得被所述清理机构吹离的所述异物被所述集尘机构接收。
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