丰豹智能科技(上海)有限公司张旺获国家专利权
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龙图腾网获悉丰豹智能科技(上海)有限公司申请的专利一种防脱胶膜组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223670937U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520047750.8，技术领域涉及：B24B37/30；该实用新型一种防脱胶膜组件是由张旺;叶文君;梁晗;梁博文设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防脱胶膜组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种防脱胶膜组件，属于晶圆抛光技术领域。防脱胶膜组件，包括支撑圈，支撑圈的底部设置有膜材，膜材上表面设置有与支撑圈的内表面连接的内膜片，膜材上表面设置有与支撑圈的外表面连接的外膜片，支撑圈的内部设置有对膜材的内表面进行检测的传感器。支撑圈的顶部外表面上设置有平角，外膜片的顶部包裹在平角的外部。内膜片靠近支撑圈的表面与膜材之间、外膜片靠近支撑圈的表面与膜材之间均设置有圆角。传感器对膜组件进行360°检测。采用本实用新型所述的防脱胶膜组件，能够解决现有的膜组件容易脱胶，影响膜组件使用寿命和晶圆加工效率的问题。
本实用新型一种防脱胶膜组件在权利要求书中公布了：1.一种防脱胶膜组件，其特征在于：包括支撑圈，支撑圈的底部设置有膜材，膜材上表面设置有与支撑圈的内表面连接的内膜片，膜材上表面设置有与支撑圈的外表面连接的外膜片，支撑圈的内部设置有对膜材的内表面进行检测的传感器。
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