无锡芯洋科技有限公司朱双平获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯洋科技有限公司申请的专利一种晶圆抛光用高稳定性固定装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223670959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423244258.4，技术领域涉及：B24B41/06；该实用新型一种晶圆抛光用高稳定性固定装置是由朱双平;方佳;包焱设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抛光用高稳定性固定装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆抛光技术领域，尤其是涉及一种晶圆抛光用高稳定性固定装置，包括底座，底座的顶部固定安装有支撑架，支撑架上固定安装有液压缸，液压缸的输出端上固定安装有抛光机，抛光机的下方设置有高稳定性固定结构本体，高稳定性固定结构本体包括固定安装在底座上的固定框，固定框的内部活动安装有双向丝杆，固定框的一侧设置有与双向丝杆相连接的转轮。本实用新型通过高稳定性固定结构本体的设置，能够对晶圆进行更为稳定地夹持固定；在两个夹盘夹持固定的基础上，再通过真空泵和吸盘运行对晶圆进行真空吸附，依靠双重固定的效果对晶圆进行更稳定的固定，有效防止抛光的过程中晶圆发生脱落。
本实用新型一种晶圆抛光用高稳定性固定装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抛光用高稳定性固定装置，包括底座1，所述底座1的顶部固定安装有支撑架2，所述支撑架2上固定安装有液压缸3，所述液压缸3的输出端上固定安装有抛光机4，其特征在于：所述抛光机4的下方设置有高稳定性固定结构本体5，所述高稳定性固定结构本体5包括固定安装在所述底座1上的固定框6，所述固定框6的内部活动安装有双向丝杆7，所述固定框6的一侧设置有与所述双向丝杆7相连接的转轮8，所述双向丝杆7上对称安装有两个移动块9，所述移动块9的顶部固定安装有夹盘10，所述夹盘10的底部固定安装有真空泵11，所述夹盘10的内部安装有两个与所述真空泵11相连接的吸盘12。
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