深圳众诚达应用材料股份有限公司胥小勇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳众诚达应用材料股份有限公司申请的专利一种用于喷涂的平面靶材基体获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223674715U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520139573.6,技术领域涉及:C23C4/00;该实用新型一种用于喷涂的平面靶材基体是由胥小勇;黄甘廷;周贤界;黄勇彪设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于喷涂的平面靶材基体在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于喷涂的平面靶材基体,包括待喷涂表面,待喷涂表面包括由中心处至外周处水平高度逐渐降低的坡面结构;以及,沿坡面结构的坡度方向依次设置的多个抗拉结构,抗拉结构包括与坡度方向所在直线垂直的沟槽和或台阶。本实用新型提供的用于喷涂的平面靶材基体,待喷涂表面包括由中心处至外周处水平高度逐渐降低的坡面结构;喷涂前将平面靶材基体的上面加工成坡面,可以补偿基体与涂层一定程度的向上翘曲,坡度依所喷材料及基体的热膨胀系数决定。沿坡面结构的坡度方向依次设置的多个沟槽和或台阶可以防止在喷涂过程中涂层与基体由于涂层应力而造成的拉扯脱层。
本实用新型一种用于喷涂的平面靶材基体在权利要求书中公布了:1.一种用于喷涂的平面靶材基体,其特征在于,包括: 待喷涂表面,所述待喷涂表面包括由中心处至外周处水平高度逐渐降低的坡面结构;以及, 沿所述坡面结构的坡度方向依次设置的多个抗拉结构,所述抗拉结构包括与所述坡度方向所在直线垂直的沟槽和或台阶。
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