厦门佰顺兴自动化科技有限公司余成有获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门佰顺兴自动化科技有限公司申请的专利一种合金靶材喷涂气体稳定供应装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223674717U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423244699.4,技术领域涉及:C23C4/134;该实用新型一种合金靶材喷涂气体稳定供应装置是由余成有;余庆丰设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种合金靶材喷涂气体稳定供应装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种合金靶材喷涂气体稳定供应装置,包括送气管路和等离子喷枪,所述送气管路一端连接气源,另一端连接等离子喷枪并且其靠近所述等离子喷枪的位置上安装有流量控制阀和质量流量计,其中,所述合金靶材喷涂气体稳定供应装置还包括恒温箱,所述恒温箱布置在所述流量控制阀的上游,所述送气管路具有位于所述恒温箱中的盘管段,以将进入所述等离子喷枪中的混合气体保持在预设温度。通过设置恒温箱,使混合气体始终保持在预设温度,从而确保等离子火焰温度保持不变,使硅铬合金靶材中的硅和铬的比例保持不变,大大提高了硅铬合金靶材良率。
本实用新型一种合金靶材喷涂气体稳定供应装置在权利要求书中公布了:1.一种合金靶材喷涂气体稳定供应装置,包括送气管路和等离子喷枪,所述送气管路一端连接气源,另一端连接等离子喷枪并且其靠近所述等离子喷枪的位置上安装有流量控制阀和质量流量计,其特征在于,所述合金靶材喷涂气体稳定供应装置还包括恒温箱,所述恒温箱布置在所述流量控制阀的上游,所述送气管路具有位于所述恒温箱中的盘管段,以将进入所述等离子喷枪中的混合气体保持在预设温度。
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