合肥致真精密设备有限公司程厚义获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种磁控溅射晶圆样品台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223674728U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423138907.2，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种磁控溅射晶圆样品台是由程厚义;丁庆;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射晶圆样品台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射晶圆样品台，具体涉及PVD薄膜沉积技术领域，包括安装法兰、升降驱动台、样品台主轴、晶圆旋转台和加热台；安装法兰安装在升降驱动台的顶部，样品台主轴设置在升降驱动台的内部，晶圆旋转台安装在样品台主轴的顶部，晶圆旋转台与样品台主轴之间设置有旋转机构，加热台的底部安装在晶圆旋转台的上表面。本实用新型通过设置升降驱动台，分别具备了对晶圆自动升降功能；通过设置样品台主轴、晶圆旋转台和旋转机构，具备了对晶圆自动旋转功能；通过设置加热台，具备了对晶圆加热的功能；利用晶圆旋转台相对样品台主轴固定角度可以调整，便于调整阴极和晶圆的相对位置。
本实用新型一种磁控溅射晶圆样品台在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射晶圆样品台，其特征在于：所述样品台包括：固定于磁控溅射腔室外壁的安装法兰1、升降驱动台2、样品台主轴3、晶圆旋转台4和加热台5； 所述升降驱动台2的顶部固定安装在安装法兰1的底部，所述样品台主轴3设置在升降驱动台2的内部，所述晶圆旋转台4固定安装在穿设出升降驱动台2顶部的所述样品台主轴3的顶部，所述晶圆旋转台4与样品台主轴3之间设置有旋转机构6，所述加热台5的底部安装在晶圆旋转台4的上表面。
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