合肥致真精密设备有限公司程厚义获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种用于真空镀膜的液氮式冷却样品台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223674731U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423232340.5，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种用于真空镀膜的液氮式冷却样品台是由程厚义;王健;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空镀膜的液氮式冷却样品台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于真空镀膜的液氮式冷却样品台，包括旋转台，在旋转台上安装有第一升降台，第一升降台上安装有中空夹层管，旋转台上设有受其驱动旋转的中空轴，中空轴外侧设有与旋转台相连的第二升降台，中空轴远离旋转台的端部设有晶圆托架。本实用新型结构简单，通过设置液氮室，在样品进行高温处理后，可以利用液氮室快速将样品冷却至液氮低温，其次在第一升降台的作用下，由第一升降台驱动液氮室及加热盘进行同步的高度升降调节，进而实现与晶圆托间距的调节，当液氮室及加热盘与晶圆托具备一定间距时，工作人员更加方便将样品放入晶圆托内处理，而后还可以调节液氮室及加热盘的高度分别对晶圆托上的样品进行高温处理或冷却处理。
本实用新型一种用于真空镀膜的液氮式冷却样品台在权利要求书中公布了：1.一种用于真空镀膜的液氮式冷却样品台，包括旋转台1，其特征在于，在所述旋转台1上安装有第一升降台2，所述第一升降台2上安装有中空夹层管3，所述旋转台1上设有受其驱动旋转的中空轴4，所述中空轴4外侧设有与旋转台1相连的第二升降台5，所述中空轴4远离旋转台1的端部设有晶圆托架6，在所述中空夹层管3的端部设有对样品进行处理的液氮室7及加热盘8； 所述液氮室7包括液氮底板7-1，所述液氮底板7-1上具有存储液氮的腔体，所述液氮底板7-1上还安装有封堵腔体的液氮封板7-2，所述液氮封板7-2上设有多根与固定板14连接的螺纹导柱7-3，且液氮封板7-2上还设有液氮入口7-4以及液氮出口7-5。
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