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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利原子层沉积管路结构及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223674735U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422830729.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型原子层沉积管路结构及系统是由赵宝鑫;王彦涛;胡雄武;杨承枪;陈炳安;钟国仿设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本原子层沉积管路结构及系统在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种原子层沉积管路结构及系统，包括稀释管路、残压释放管路和压力计；稀释管路能够对通入的辅助气体进行鼓泡并实现对带源气泡的辅助气体的稀释；残压释放管路包括控制气路和泄压阀门；混合气路连通于控制气路的入口端；泄压阀门设置于控制气路内，并阻隔控制气路；压力计设置于稀释管路内并用于监测稀释管路内的气压；泄压阀门根据压力计监测示数开闭；在压力计监测稀释管路的气压增大至预设值时，泄压阀门打开以使控制气路的入口端和出口端连通，并降低稀释管路的气压。本实用新型实施例的原子层沉积管路结构及系统能够释放管道内部的局部压力，从而保证稀释管路的调整效果，减少带源气泡的实际占比与预设值的偏差。

本实用新型原子层沉积管路结构及系统在权利要求书中公布了：1.原子层沉积管路结构，其特征在于，包括： 稀释管路，所述稀释管路包括进源质量流量控制器、稀释质量流量控制器、源瓶、进源气路、出源气路、稀释气路和混合气路；所述进源质量流量控制器连通于所述进源气路的入口端，并能够调整向所述进源气路的入口端通入的辅助气体流量，所述进源气路的出口端连通于所述源瓶的入口端；所述源瓶的出口端连通于所述出源气路的入口端，所述出源气路的出口端连通于所述混合气路的入口端；所述稀释质量流量控制器连通于所述稀释气路的入口端，并能够调整向所述稀释气路的入口端通入的辅助气体流量，所述稀释气路的出口端连通于所述混合气路的入口端； 残压释放管路，所述残压释放管路包括控制气路和泄压阀门；所述混合气路连通于所述控制气路的入口端；所述泄压阀门设置于所述控制气路内，并阻隔所述控制气路的入口端和出口端； 压力计，所述压力计设置于所述稀释管路内并用于监测所述稀释管路内的气压；所述泄压阀门根据所述压力计监测示数开闭；在所述压力计监测所述稀释管路的气压增大至预设值时，所述泄压阀门打开以使所述控制气路的入口端和出口端连通，并降低所述稀释管路的气压。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人纳设智能装备(江苏)有限公司，其通讯地址为：226300 江苏省南通市通州区金新街道双福路126号半导体光电产业园N2栋1、4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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