浙江晶盛光子科技有限公司王树林获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶盛光子科技有限公司申请的专利一种原子层沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223674736U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422861613.6，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积装置是由王树林;李鹏飞;仇大为;童亚龙设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种原子层沉积装置，属于原子层沉积技术领域。原子层沉积装置包括外腔体、反应腔体、通气单元和加热单元，加热单元和反应腔体均设于外腔体内，反应腔体用于对待镀膜件进行镀膜，通气单元包括进气件和出气件，进气件和出气件均贯穿外腔体，出气件和进气件的一端均与反应腔体连通，另一端均与外界连通。本实用新型的原子层沉积装置，提高反应腔体保温效果，避免反应产生的粉尘覆盖在加热装置上，提高加热效率。
本实用新型一种原子层沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积装置，其特征在于，包括外腔体1、通气单元3和加热单元，所述外腔体1设有至少两个相分隔的子腔，每个所述子腔内设有一个内腔11；所述通气单元3设有至少两个，所述通气单元3的一端一一对应地连通于所述内腔11，另一端连通于外界；所述加热单元设有至少两个，每个所述子腔和所述内腔11之间均设置有一所述加热单元，每个所述加热单元之间相互独立。
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