湖北星辰技术有限公司方鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223674737U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520037617.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备是由方鹏设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备，涉及化学气相沉积技术领域。本申请提供的化学气相沉积喷头，其包括喷头主体和套环，喷头主体开设有进气通道，喷头主体上间隔开设有多个与进气通道连通的喷淋孔和第一调节孔，套环上开设有若干第二调节孔，第二调节孔的孔径小于第一调节孔的孔径，套环与喷头主体活动连接，所述套环用于经所述第二调节孔调节所述第一调节孔处的气体流阻。套环用于调节第一调节孔处的气体流阻，例如，通过控制第二调节孔插入第一调节孔的长度，改变第一调节孔处的气体流阻，从而调节对应区域的薄膜厚度，保证薄膜的均匀性。只通过套环调节气体流阻即可保证薄膜均匀性，整体结构简单，生产成本低。
本实用新型一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积喷头，其特征在于，包括喷头主体100和套环200，所述喷头主体100开设有进气通道101，所述喷头主体100上间隔开设有多个与所述进气通道101连通的喷淋孔102和第一调节孔103，所述套环200上开设有若干第二调节孔201，所述第二调节孔201的孔径小于所述第一调节孔103的孔径，所述套环200与所述喷头主体100连接，且所述第二调节孔201与所述第一调节孔103一一对应连通，所述套环200用于经所述第二调节孔201调节所述第一调节孔103处的气体流阻。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北星辰技术有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路12号汇成工业科创园2号楼11F(自贸区片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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