深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司赵名琦获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利一种支撑组件和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223674739U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520250511.2，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种支撑组件和半导体设备是由赵名琦设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种支撑组件和半导体设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种支撑组件和半导体设备，支撑组件包括：支撑销和配重块，配重块上设置有通道，支撑销具有第一端部和第二端部，第一端部用于支撑晶圆，第二端部至少包括彼此相连的安装部和抵接部，安装部横截面积小于通道横截面积，至少部分抵接部的横截面积大于通道横截面积，安装部位于抵接部之上，且配重块能够套设于安装部并抵接于抵接部。本申请结构设计简单，加工容易，整体硬度更高，使用寿命更长；组合安装更简便、更容易。
本实用新型一种支撑组件和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种支撑组件，所述支撑组件用于支撑晶圆，其特征在于，所述支撑组件包括： 配重块，所述配重块上设置有通道； 支撑销，所述支撑销具有第一端部和第二端部，其中，所述第一端部用于支撑所述晶圆，所述第二端部至少包括彼此相连的安装部和抵接部，所述安装部横截面积小于所述通道横截面积，至少部分所述抵接部的横截面积大于所述通道横截面积，所述安装部位于所述抵接部之上，且所述配重块能够套设于所述安装部并抵接于所述抵接部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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