芯恩(青岛)集成电路有限公司肖恩才获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利MOCVD装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223674800U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520133557.6，技术领域涉及：C30B25/16；该实用新型MOCVD装置是由肖恩才;于强设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本MOCVD装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种MOCVD装置，包括反应腔室、样品台、升降机构、感应线圈及等离子体产生装置；样品台位于反应腔室内，且周边设有边缘环；升降机构与边缘环连接，可调节边缘环的上下位移；等离子体产生装置，用以产生纵向等离子体，感应线圈设置于边缘环内，进而提供磁场以调节等离子体中带电粒子的运动状态，增加带电粒子的水平分量，从而提高等离子体在晶圆中的侧壁处理效果，也降低了因垂直方向粒子能量高对底部的损伤；同时，感应线圈位置相对于晶圆水平面可发生相对运动，对应晶圆面内中间和边缘区域的磁感线方向发生变化，改变了晶圆中间和水平位置带电粒子的运动轨迹，进一步改善晶圆薄膜质量的均一性。
本实用新型MOCVD装置在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD装置，其特征在于，所述MOCVD装置包括： 反应腔室； 样品台，所述样品台位于所述反应腔室内，且所述样品台周边设有边缘环； 升降机构，所述升降机构与所述边缘环连接，通过所述升降机构调节所述边缘环的上下位移； 感应线圈，所述感应线圈设置于所述边缘环内，通过所述感应线圈提供磁场以调节带电粒子的运动状态； 等离子体产生装置，所述等离子体产生装置包括射频电源和适配器，且所述适配器连接有喷头装置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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