应用材料公司A·施密德获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利可移动并且可移除的处理配件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109950193B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811572407.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权可移动并且可移除的处理配件是由A·施密德;D·M·库索设计研发完成，并于2018-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本可移动并且可移除的处理配件在说明书摘要公布了：公开了可移动并且可移除的处理配件。本公开的各方面大体涉及用于调整边缘环位置并且用于移除或更换处理腔室的处理配件的一个或多个部件的方法和装置。处理配件包括边缘环、支撑环、滑环和其他自耗的或可降解的部件中的一个或多个。
本发明授权可移动并且可移除的处理配件在权利要求书中公布了：1.一种用于基板支撑件的处理配件，包含： 滑环，具有由内径和外径限定的主体，所述主体具有： 形成为穿过所述主体的一个或多个开口，其中所述一个或多个开口中的每一个具有与所述主体的轴线平行的轴线； 所述主体的上部末端处的水平部分，所述水平部分从所述主体的内径径向向外延伸；以及 从所述水平部分以第一方向延伸的垂直部分，其中所述第一方向与所述主体的所述轴线平行； 支撑环，具有其中径向向内的部分被抬升到径向向外的部分上方的阶梯状上表面，所述支撑环具有外径；以及 边缘环，具有平坦上表面和平坦下表面，所述边缘环具有： 小于所述支撑环的所述外径的内径；以及 大于所述支撑环的所述外径的外径， 其中： 所述滑环的所述垂直部分的内径大于所述支撑环的所述外径，并且 所述滑环的所述垂直部分被配置为与所述边缘环直接接触并且支撑所述边缘环， 其中所述支撑环的所述外径大于所述滑环的所述主体的所述内径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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