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龙图腾网获悉深圳市百世达半导体设备有限公司申请的专利一种射频匹配网络及射频电源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110456136B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910843120.0，技术领域涉及：G01R19/00；该发明授权一种射频匹配网络及射频电源系统是由乐卫平设计研发完成，并于2019-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频匹配网络及射频电源系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频匹配网络，在获取LC网络输出的射频交流电时，充分考虑到环境温度对信号采集的影响，恒温采样模块会先对自身所处的环境温度进行调整，以将环境温度调整至预设温度范围内，然后采集LC网络输出端的射频交流电，以便后续第一处理器根据射频交流电通过所述驱动电路对LC网络进行阻抗调整，实现LC网络及负载的网络匹配。可见，由于恒温采样模块实现的是恒温采集，从而保证了自身静态工作点的稳定，使得采样信号不会发生失真，提高了采样信号的采样精度及后续的阻抗匹配精度，提高了射频电源系统的工作效率。本发明还公开了一种射频电源系统，具有与上述射频匹配网络相同的优点。

本发明授权一种射频匹配网络及射频电源系统在权利要求书中公布了：1.一种射频匹配网络，其特征在于，包括：输入端与射频电源连接、输出端与负载连接的LC网络；与所述LC网络的控制端连接的驱动电路；与所述LC网络的输出端连接的恒温采样模块，用于将自身所处环境温度调整在预设温度范围内，并采集所述LC网络输出端的射频交流电；分别与所述恒温采样模块及所述驱动电路连接的第一处理器，用于根据所述射频交流电通过所述驱动电路对所述LC网络进行阻抗调整，以实现所述LC网络及负载的网络匹配； 所述恒温采样模块包括：电压采样模块，用于采集所述LC网络的输出端的射频交流电压；电流采样模块，用于采集所述LC网络的输出端的射频交流电流；温度传感器，用于采集自身所处的环境温度；加热模块和制冷模块；分别与所述电压采样模块、所述电流采样模块、所述温度传感器、所述加热模块和所述制冷模块连接的第二处理器，用于通过控制所述加热模块和所述制冷模块将所述环境温度保持在预设温度范围内并输出所述射频交流电压和所述射频交流电流； 所述恒温采样模块还包括：ARC弧检测模块，用于采集所述LC网络的输出端的射频交流电压采样率和射频交流电流采样率；所述第二处理器与所述ARC弧检测模块连接，还用于输出所述射频交流电压采样率和射频交流电流采样率，以便所述第一处理器以所述电压采样率不超过电压采样率阈值以及电流采样率不超过电流采样率阈值为约束条件对所述LC网络进行阻抗调整； 所述ARC弧检测模块包括：用于采集射频交流电压采样率和射频交流电流采样率的ARC传感器；与所述ARC传感器连接的低通滤波器，用于滤除采样信号中的高频分量；与所述低通滤波器连接的衰减器，用于将滤波后的采样信号衰减至单转双模块的输入信号处理范围内；与所述衰减器连接的单转双模块，用于将衰减后的采样信号由单端信号转换为差模信号；分别与所述单转双模块及所述第二处理器连接的ADC，用于将所述差模信号由模拟量转换为数字量。

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