无锡微视传感科技有限公司程进获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡微视传感科技有限公司申请的专利静电扫描微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111045206B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010073746.0，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权静电扫描微镜是由程进;孙其梁;徐乃涛;李宋泽设计研发完成，并于2020-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电扫描微镜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种静电扫描微镜，包括上部的微镜本体和下方的键合底板，微镜本体包括边框和镜面，边框背面固定在键合底板上；所述镜面上下两端分别连接有连接部，并通过转轴与边框连接；所述连接部的外侧加工有动齿，边框内侧与动齿相对的位置上加工有静齿。本发明的静电扫描微镜在转轴和镜面之间设置一个专用的连接部，通过在连接部的外侧设置梳齿，可以增加梳齿布置区域，增强微镜的驱动力，增加微镜的最大偏转角度。同时，通过在边框上设置不同结构的隔离槽，将边框分隔为不同的功能区域，并且将所有的梳齿组分为驱动梳齿组和反馈梳齿组，在驱动镜面偏转的同时，可以实时监控镜面偏转角度，提高镜面偏转角度控制的精确性。
本发明授权静电扫描微镜在权利要求书中公布了：1.一种静电扫描微镜，其特征在于：包括上部的微镜本体和下方的键合底板13，微镜本体包括边框1和镜面2，边框1背面固定在键合底板13上；所述镜面2上下两端分别连接有连接部4，并通过转轴3与边框1连接；所述连接部4的外侧加工有动齿，边框1内侧与动齿相对的位置上加工有静齿；所述键合底板13上制作有金属平板电极15，平板电极15位于镜面2中轴线的一侧；所述边框1上加工有通孔14，外部导线通过通孔内的金属连接平板电极15；所述边框1被隔离槽分隔为驱动部1-1、偏转部1-2；所述驱动部1-1表面加工有第一电极8，用于和外部驱动装置连接；所述偏转部1-2表面加工有第二电极9；所述电极具有一大一小双电极，小电极用于探针检测芯片，大电极用于最终封装引线键合；所述动齿和静齿为梯形或者三角形。
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