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龙图腾网获悉日本株式会社日立高新技术科学申请的专利带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113496859B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110284278.6，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权带电粒子束装置是由清原正宽;上本敦设计研发完成，并于2021-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本带电粒子束装置在说明书摘要公布了：提供带电粒子束装置。通过适当地校正由于试样的旋转而引起的位置偏移而能够抑制带电粒子束的照射位置的变动的。带电粒子束装置10具有会聚离子束镜筒17、试样保持器12、支承试样保持器12的载台31、固定部旋转机构、载台驱动机构33和控制装置25。试样保持器12具有固定试样P的固定部。固定部旋转机构使固定部绕第1旋转轴和第2旋转轴的各轴旋转。载台驱动机构33使载台31三维地平移且绕第3旋转轴旋转。控制装置25取得校正值，该校正值对针对绕第1旋转轴、第2旋转轴和第3旋转轴中的至少任意一个轴的旋转的旋转中心的位置变动进行校正。控制装置25根据校正值使载台31平移。

本发明授权带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束装置，其特征在于，所述带电粒子束装置具有： 带电粒子束镜筒，其对试样照射带电粒子束； 试样保持器，其具有固定所述试样的固定部； 载台，其支承所述试样保持器； 固定部旋转机构，其使所述固定部以相对于所述载台而独立的方式绕第1旋转轴和第2旋转轴的各轴旋转，该第2旋转轴与和所述第1旋转轴正交的方向平行； 载台驱动机构，其使所述载台与所述试样保持器一体地三维平移且绕第3旋转轴旋转；以及 处理装置，其取得校正值，通过根据所述校正值使所述载台平移，对所述带电粒子束在所述试样上的照射位置进行校正，所述校正值用于对绕所述第1旋转轴、所述第2旋转轴和所述第3旋转轴中的至少任意一个轴的旋转的旋转中心的位置变动进行校正， 将在绕所述第1旋转轴、所述第2旋转轴和所述第3旋转轴中的至少任意一个轴旋转前和旋转后的所述旋转中心的位置设为旋转前位置和旋转后位置，对所述旋转前位置相对于所述第1旋转轴、所述第2旋转轴和所述第3旋转轴各自的旋转基准位置的向量、和所述旋转后位置相对于所述第1旋转轴、所述第2旋转轴和所述第3旋转轴各自的旋转基准位置的向量进行合成，从而得到所述校正值。

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