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龙图腾网获悉索泰克公司申请的专利将有用层转移到载体衬底的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113574654B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080016649.6，技术领域涉及：H01L21/762；该发明授权将有用层转移到载体衬底的方法是由迪迪埃·朗德吕;O·科农丘克;纳迪娅·本默罕默德设计研发完成，并于2020-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本将有用层转移到载体衬底的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种将有用层转移到载体衬底上的方法，包括以下步骤：a提供包括埋置弱化面的施主衬底，有用层由施主衬底的正面和埋置弱化面来界定；b提供载体衬底；c由施主衬底的正面将施主衬底沿接合界面结合到载体衬底以形成接合结构；d对接合结构进行退火，以增加埋置弱化面的弱化程度，转移方法的特征在于：‑在退火步骤d中，将预定应力施加到埋置弱化面达一定时间段，预定应力选择为当达到给定弱化程度时引发分裂波；‑在该时间段结束处，已经达到给定弱化程度，预定应力导致分裂波被引发并且沿埋置弱化面自维持传播，造成将有用层转移到载体衬底。

本发明授权将有用层转移到载体衬底的方法在权利要求书中公布了：1.一种将有用层3转移到载体衬底4上的转移方法，所述转移方法包括以下步骤： a提供包括埋置弱化面2的施主衬底1，所述有用层3由所述施主衬底1的正面1a和所述埋置弱化面2来界定； b提供载体衬底4； c由所述施主衬底1的所述正面1a将所述施主衬底1沿接合界面7结合到所述载体衬底4以形成接合结构5；以及 d对所述接合结构5进行退火，以增加所述埋置弱化面2的弱化程度； 所述转移方法的特征在于： -在退火步骤d中，将预定应力施加到所述埋置弱化面2达一定时间段，所述预定应力选择为当达到给定弱化程度时引发分裂波； -在所述时间段的结束处，已经达到所述给定弱化程度，所述预定应力导致所述分裂波被引发并且沿所述埋置弱化面自维持传播，造成将所述有用层3转移到所述载体衬底4， 其中，所述给定弱化程度由所述埋置弱化面2中被微腔占据的面积限定， 其中，所述转移方法应用于多个接合结构5的批量处理，其中，将所述预定应力施加到所述多个接合结构5中的各个接合结构的所述埋置弱化面2，使得在对于各个接合结构5达到所述给定弱化程度时引发所述分裂波。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人索泰克公司，其通讯地址为：法国伯尔宁；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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