TCL华星光电技术有限公司何武获国家专利权
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龙图腾网获悉TCL华星光电技术有限公司申请的专利曝光机、挡板位置分析方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114280885B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111621412.3,技术领域涉及:G03F1/42;该发明授权曝光机、挡板位置分析方法及装置是由何武设计研发完成,并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光机、挡板位置分析方法及装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种曝光机、挡板位置分析方法及装置。曝光机包括:玻璃基板;挡板,与所述玻璃基板相对设置;掩膜版,设于所述挡板和所述基板之间,所述掩膜版包括曝光区、非曝光区以及标尺,所述标尺包括尺身和设于所述尺身的刻度,所述刻度的刻度参考线与所述曝光区和所述非曝光区的分界线重合,所述刻度的测量范围大于所述挡板的衍射区域的尺寸,所述挡板用于遮挡所述非曝光区,且所述挡板的边缘与所述分界线重合。本申请实施例中设置标尺对挡板位置精度进行监控,如果发现异常可以及时修正,避免不良品产出后报废。
本发明授权曝光机、挡板位置分析方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种曝光机,其特征在于,包括: 玻璃基板;所述玻璃基板为彩色滤光片基板,并采用正性光刻胶; 挡板,与所述玻璃基板相对设置; 掩膜版,设于所述挡板和所述基板之间,所述掩膜版包括曝光区、非曝光区以及多个标尺,所述标尺包括尺身和设于所述尺身的刻度,所述刻度的刻度参考线与所述曝光区和所述非曝光区的分界线重合,所述刻度的测量范围大于所述挡板的衍射区域的尺寸,所述挡板用于遮挡所述非曝光区,且所述挡板的边缘与所述分界线重合;所述掩膜版基于多个所述标尺的投影信息进行分析监控。
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