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龙图腾网获悉深圳市鹰眼在线电子科技有限公司申请的专利晶粒分选装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649241B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210255708.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶粒分选装置是由陈洁;丁晓华;岳鑫;陈鸣设计研发完成，并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶粒分选装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶粒分选装置，包括上料组件、夹取组件、晶圆台组件、顶针组件、翻转组件、检测组件、转塔组件及收料组件，上料组件获取晶圆盒，晶圆盒中装载有多片晶圆，夹取组件将晶圆盒中的多片晶圆分别夹取至晶圆台组件，晶圆台组件对晶圆进行扩膜，顶针组件顶起扩膜后的晶圆上的晶粒，翻转组件吸取晶粒，检测组件包括第一检测相机，第一检测相机用于检测晶粒的第一面，翻转组件将晶粒的第一面旋转并对准转塔组件，以使得转塔组件吸取晶粒的第一面，检测组件还包括多个检测相机，分别对晶粒的多个面进行检测，转塔组件将检测合格的晶粒旋转至收料组件进行收料。

本发明授权晶粒分选装置在权利要求书中公布了：1.一种晶粒分选装置，其特征在于，所述晶粒分选装置包括上料组件、夹取组件、晶圆台组件、顶针组件、翻转组件、检测组件、转塔组件及收料组件，所述上料组件获取晶圆盒，所述晶圆盒中装载有多片晶圆，所述夹取组件将所述晶圆盒中的多片晶圆分别夹取至所述晶圆台组件，所述晶圆台组件对所述晶圆进行扩膜，所述顶针组件顶起扩膜后的所述晶圆上的晶粒，所述翻转组件吸取所述晶粒，所述检测组件包括第一检测相机，所述第一检测相机用于检测所述晶粒的第一面，若所述第一面检测不合格，所述翻转组件直接将所述晶粒抛除；若所述第一面检测合格，所述翻转组件将所述晶粒的第一面旋转并对准所述转塔组件，以使得所述转塔组件吸取所述晶粒的第一面，所述检测组件还包括第二检测相机、第三检测相机、第四检测相机、第五检测相机及第六检测相机，分别对所述晶粒的第二面、第三面、第四面、第五面及第六面进行检测，所述转塔组件将检测合格的所述晶粒旋转至所述收料组件进行收料； 其中，所述上料组件包括上料Z轴位移件、第一托板及第二托板，所述上料Z轴位移件沿Z轴方向上下位移，从而带动所述第一托板及所述第二托板沿所述Z轴方向上下位移，所述第一托板用于承载第一规格的晶圆盒，所述第二托板用于承载第二规格的晶圆盒，所述第一规格和所述第二规格不同； 所述上料组件还包括第一传感器及第二传感器，当所述第一托板上承载有所述第一规格的晶圆盒时，所述第一传感器产生第一电信号；当所述第二托板上承载有所述第二规格的晶圆盒时，所述第二传感器产生第二电信号； 所述顶针组件、所述晶圆台组件、所述翻转组件的翻转吸嘴、所述转塔组件的取放吸嘴同轴设置。

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