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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695180B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111541285.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置是由方镐千设计研发完成，并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置在说明书摘要公布了：本发明的实施例提供能够有效地充分利用空间的基板接合设备中的基板保管及对准装置。根据本发明的实施例的接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置，包括：前端缓冲器，包括用于临时保管基板的前端保管插槽以及从所述前端保管插槽输送所述基板的输送机械手能够移动的前端开口部；以及前端校准器，形成为层叠于所述前端缓冲器的上方而通过旋转所述基板来对准所述基板。

本发明授权接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置在权利要求书中公布了：1.一种用于接合基板和基板的基板接合设备，包括： EFEM，装载所述基板； EFEM输送机械手，从所述EFEM输送所述基板； 前端基板保管及对准模组，临时保管通过所述EFEM输送机械手输送的所述基板并为了后续处理而对准所述基板； 主输送机械手，从所述前端基板保管及对准模组输送所述基板； 等离子体处理模组，对所述基板执行等离子体处理； 后端基板保管及对准模组，临时保管被等离子体处理的所述基板并为了后续处理而对准所述基板； 翻转输送机械手，拾取临时保管在所述后端基板保管及对准模组中的基板，并将临时保管在所述后端基板保管及对准模组中的基板翻转后输送； 焊接模组，从所述翻转输送机械手接收基板，并执行所述基板和所述基板之间的接合而形成被接合的基板；以及 焊接检查模组，检查被接合的所述基板和所述基板之间的接合状态， 所述前端基板保管及对准模组包括： 前端缓冲器，包括用于临时保管所述基板的前端保管插槽以及所述EFEM输送机械手以及所述主输送机械手能够从所述前端保管插槽移动的前端开口部；以及 前端校准器，形成为层叠于所述前端缓冲器的上方而通过旋转所述基板来对准所述基板， 所述后端基板保管及对准模组包括： 后端缓冲器，包括用于临时保管基板的后端保管插槽以及所述主输送机械手以及所述翻转输送机械手能够从所述后端保管插槽移动的后端开口部；以及 后端校准器，形成为层叠于所述后端缓冲器的上方而通过旋转所述基板来对准所述基板。

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