南京邮电大学成建兵获国家专利权
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龙图腾网获悉南京邮电大学申请的专利一种具有N型电荷层的低EMI噪声IGBT器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115101577B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210522431.9,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权一种具有N型电荷层的低EMI噪声IGBT器件是由成建兵;刘立强;周嘉诚;张效俊;李瑛楠设计研发完成,并于2022-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有N型电荷层的低EMI噪声IGBT器件在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有N型电荷层的低EMI噪声IGBT器件,包括从下至上依次层叠设置的集电极金属电极、P+集电区、N缓冲层和N漂移区。在N漂移区的表面,分为MOS区和空穴路径区;MOS区包括左右依次设置的栅极、P阱;其空穴路径区,包括左右依次设置的第一浮空P区、第一虚栅、间隔P型区、第二虚栅、第二浮空P区;一个N型电荷层即ND+层设置于第二浮空P区的下方。所述的ND+层和N漂移区形成ND+ND高低结,在器件开启阶段可阻挡空穴在栅氧附近积累,降低了负电容对栅极地充电,抑制了器件的EMI噪声。
本发明授权一种具有N型电荷层的低EMI噪声IGBT器件在权利要求书中公布了:1.一种具有N型电荷层的低EMI噪声IGBT器件,其特征在于,包括从下至上依次层叠设置的集电极金属电极101、P+集电区102、N缓冲层103和N漂移区104;在N漂移区104的表面,分为MOS区域和空穴路径区域; 所述的MOS区域,包括左至右依次设置的栅极118、P阱113;P阱113中的表面是两个紧邻的N+发射区115和欧姆接触的P+层114,一个N+发射区115位于欧姆接触的P+层114的左侧; 所述的空穴路径区域,包括左至右依次设置的第一浮空P区105、第一虚栅106、间隔P型区108、第二虚栅109、第二浮空P区111;一个设置于第二浮空P区111的下方且与第二浮空P区111紧邻的N型电荷层即ND+层112,紧邻位于栅氧119的左侧; 所述的ND+层112和第二浮空P区111形成PND+的PN结,在器件开启阶段可阻止N漂移区104中的空穴沿栅氧119进入第二浮空P区111; 所述的ND+层112的掺杂浓度大于N漂移区104的掺杂浓度;所述的ND+层112的掺杂浓度小于器件制造工艺的最大值; 所述的第一虚栅106和第二虚栅109和发射极直接连接在一起,第一虚栅106和第二虚栅109周围分别覆盖着第一虚栅的氧化层107、第二虚栅的氧化层110; 所述的第二浮空P区111、第二虚栅109、第二虚栅的氧化层110、N漂移区104以及间隔P型区108构成空穴路径,能够在器件开启过程中使浮空P区处的空穴导出; 所述的栅极118周围覆盖有栅氧119。
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