应用材料公司K·莱斯彻基什获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于封装制造的激光烧蚀系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115835936B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180048402.7，技术领域涉及：B23K26/359；该发明授权用于封装制造的激光烧蚀系统是由K·莱斯彻基什;J·L·富兰克林;类维生;S·文哈弗贝克;J·德尔马斯;陈翰文;朴起伯设计研发完成，并于2021-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于封装制造的激光烧蚀系统在说明书摘要公布了：本公开涉及用于制造半导体封装的系统和方法，并且更具体地，用于通过激光烧蚀在半导体封装中形成特征的系统和方法。在一个实施例中，本文描述的激光系统和方法可用于将用作半导体封装的封装框架的基板图案化，所述半导体封装具有穿过其形成的一个或多个互连和或放置在其中的一个或多个半导体管芯。本文描述的激光系统可产生用于在基板或其他封装结构中形成特征的可调谐激光束。具体地，激光束的频率、脉冲宽度、脉冲形状以及脉冲能量可基于图案化特征的期望大小和其中形成图案化特征的材料来调节。激光束的可调性使得在具有受控深度和形貌的半导体基板和封装中快速且准确地形成特征。
本发明授权用于封装制造的激光烧蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种用于将半导体器件基板激光图案化的系统，包括： 二极管泵浦固态激光源，所述二极管泵浦固态激光源被配置为生成脉冲激光束，所述激光源包括平板增益介质，所述激光源进一步具有以下特征： 脉冲能量，所述脉冲能量在0.25mJ至10mJ之间； 脉冲宽度，所述脉冲宽度在1ns至4000ns之间；以及 脉冲频率，所述脉冲频率在1kHz至200kHz之间； 电流计光学扫描仪； 第一远心透镜，所述第一远心透镜具有横向尺寸等于或大于137mm的视场FOV，所述第一远心透镜具有30mm至500mm之间的工作距离；以及 第二远心透镜，所述第二远心透镜具有横向尺寸等于或大于137mm的FOV和30mm至500mm之间的工作距离； 其中所述第一远心透镜和所述第二远心透镜被配置为具有彼此匹配的性质以实现穿过不同材料类型钻孔的特征的对准。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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