湘潭大学郭红霞获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭大学申请的专利一种SiGe HBT总剂量效应感生缺陷分布的检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116399946B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310201387.6,技术领域涉及:G01N29/04;该发明授权一种SiGe HBT总剂量效应感生缺陷分布的检测方法是由郭红霞;胡嘉文;马武英;钟向丽;欧阳晓平;李波;白如雪;刘益维设计研发完成,并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SiGe HBT总剂量效应感生缺陷分布的检测方法在说明书摘要公布了:本发明提出的一种SiGeHBT总剂量效应感生缺陷分布的检测方法,包括:在第一预设温度下,利用1f噪声对待测SiGeHBT进行检测,获得第一1f噪声参数;在第二预设温度下,利用1f噪声对待测SiGeHBT进行检测,获得第一1f噪声参数,第二预设温度低于第一预设温度且低于常温;在预设辐照条件和第一预设温度下,利用1f噪声对待测SiGeHBT进行检测,获得第三1f噪声参数;在预设辐照条件和第二预设温度下,利用1f噪声对待测SiGeHBT进行检测,获得第四1f噪声参数;根据第一1f噪声参数、第二1f噪声参数、第三1f噪声参数及第四1f噪声参数,确定低温条件下待测SiGeHBT中总剂量效应感生缺陷分布变化。
本发明授权一种SiGe HBT总剂量效应感生缺陷分布的检测方法在权利要求书中公布了:1.一种SiGeHBT总剂量效应感生缺陷分布的检测方法,其特征在于,包括: 在第一预设温度下,利用1f噪声对待测SiGeHBT进行检测,获得第一1f噪声参数; 在第二预设温度下,利用1f噪声对待测SiGeHBT进行检测,获得第一1f噪声参数,所述第二预设温度低于所述第一预设温度且低于常温;所述第一预设温度为300K;所述第二预设温度为93K; 在预设辐照条件和所述第一预设温度下,利用1f噪声对所述待测SiGeHBT进行检测,获得第三1f噪声参数; 在预设辐照条件和所述第二预设温度下,利用1f噪声对所述待测SiGeHBT进行检测,获得第四1f噪声参数; 根据所述第一1f噪声参数、第二1f噪声参数、第三1f噪声参数及第四1f噪声参数,确定低温条件下所述待测SiGeHBT中总剂量效应感生缺陷分布变化,所述低温条件为93K-300K; 所述确定低温条件下所述待测SiGeHBT中总剂量效应感生缺陷分布变化,包括: 根据所述第一1f噪声参数、第二1f噪声参数、第三1f噪声参数及第四1f噪声参数,分别确定对应的所述待测SiGeHBT中氧化物陷阱电荷的浓度和界面态的位置; 基于所述氧化物陷阱电荷的浓度和所述界面态的位置,确定低温条件下所述待测SiGeHBT的总剂量效应感生缺陷分布变化。
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