武汉大学曾晓梅获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119698226B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510045319.4，技术领域涉及：H10N30/88；该发明授权一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用是由曾晓梅;佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇;杨兵;亚历山大·波格雷布尼亚克;拉希姆伯根·拉希莫夫设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用，所述传感器结构由下至上包括衬底、压电层、保护层和电极层，所述保护层的材质为高熵合金氧化物；在衬底与压电层之间设置有第一防扩散阻挡层，和或，压电层与保护层之间还设置有第二防扩散阻挡层；所述第一防扩散阻挡层和第二防扩散阻挡层的材质为高熵合金。本发明的耐高温压电薄膜传感器结构采用了高熵合金构成的防扩散阻挡层，不含氧原子，可以很好阻止压电层中轻量元素轻量元素的扩散和氧化速度；高熵合金氧化物构成的保护层，显著提升了传感器结构的电阻不仅可以防止高电压测试过程中压电层被击穿，提高传感器结构的工作稳定性，还可以提高传感器高温稳定性。
本发明授权一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种耐高温压电薄膜传感器结构，由下至上包括衬底、压电层、保护层和电极层，其特征在于，所述压电层的材质为铌酸锂，所述保护层的材质为高熵合金氧化物； 在衬底与压电层之间设置有第一防扩散阻挡层，压电层与保护层之间还设置有第二防扩散阻挡层； 所述第一防扩散阻挡层和第二防扩散阻挡层的材质为高熵合金； 所述高熵合金氧化物和所述高熵合金的合金元素包括Al、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、Y、Si中的至少八种。
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