南方科技大学;台深创(深圳)科技投资有限公司邓巍巍获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学;台深创(深圳)科技投资有限公司申请的专利纳秒激光加工制备柔性透明电极的系统、方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119730676B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411601620.0,技术领域涉及:H10K71/60;该发明授权纳秒激光加工制备柔性透明电极的系统、方法与应用是由邓巍巍;赵新彦;张国新;夏辉辉;杨基亚维设计研发完成,并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本纳秒激光加工制备柔性透明电极的系统、方法与应用在说明书摘要公布了:本发明涉及微纳加工技术领域,尤其涉及一种纳秒激光加工制备柔性透明电极的系统、方法与应用,系统包括:用于发出纳秒激光束的激光发射模块;用于对所述纳秒激光束进行偏转的振镜偏光模块;水浴冷却模块,用于放置膜材,且所述膜材的一侧与所述水浴冷却模块内的水接触,另一侧被经过偏转的纳秒激光束进行刻蚀;用于对刻蚀后的膜材进行超声清洗的超声模块。本发明通过激光发射模块刻蚀、振镜偏光、水浴冷却,最后进行超声去除毛刺相结合的方式制备柔性透明网格状电极,该透明网格状电极有着高导电性能、高透光率以及优良的机械柔性等特点,并降低了对设备的要求以及极大的降低了生产制作成本。
本发明授权纳秒激光加工制备柔性透明电极的系统、方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种纳秒激光加工制备柔性透明电极的系统,其特征在于,包括: 激光发射模块,用于发出纳秒激光束;所述激光束的激光参数包括激光加工速度、激光的功率、激光的频率、Q脉冲宽度、开光延时、关光延时、结束延时和拐角延时;其中,所述激光加工速度为300mms-1000mms,所述激光的功率为0.1W-0.5W,所述激光的频率为50KHz-200KHz,所述Q脉冲宽度为10ns-30ns; 振镜偏光模块,用于对所述纳秒激光束进行偏转; 水浴冷却模块,用于放置膜材,且所述膜材的一侧与所述水浴冷却模块内的水接触,另一侧被经过偏转的纳秒激光束进行刻蚀;所述水浴冷却模块包括一侧开口的储液水箱,以及用于压紧所述膜材且设有开口的压板;所述膜材放置于所述储液水箱的开口一侧; 超声模块,用于对刻蚀后的膜材进行超声清洗; 所述纳秒激光加工制备柔性透明电极的系统还包括调平模块,用于调整所述膜材表面保持水平;所述水浴冷却模块设置于所述调平模块上; 所述柔性透明电极为网格状。
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