东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司贾锡文获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利探测装置和检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119833425B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411933781.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权探测装置和检测系统是由贾锡文;米涛设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本探测装置和检测系统在说明书摘要公布了：本申请公开探测装置和检测系统，探测装置包括基座、驱动机构、传动机构和探头，驱动机构安装于基座；传动机构安装于基座，传动机构与驱动机构连接，传动机构包括连杆组件和套管组件，连杆组件连接驱动机构，套管组件套设在连杆组件至少部分外且与连杆组件活动连接；探头与连杆组件连接；其中，驱动机构在启动后包含第一阶段和第二阶段，在第一阶段，驱动机构驱动探头、连杆组件和套管组件同步运动，在第二阶段，套管组件相对于基座停止运动，驱动机构驱动探头和连杆组件运动。
本发明授权探测装置和检测系统在权利要求书中公布了：1.一种探测装置11，其特征在于，包括： 基座100； 驱动机构200，安装于所述基座100； 传动机构300，安装于所述基座100，所述传动机构300与所述驱动机构200连接，所述传动机构300包括连杆组件310和套管组件320，所述连杆组件310连接所述驱动机构200，所述套管组件套设在所述连杆组件310至少部分外且与所述连杆组件310活动连接； 探头400，与所述连杆组件310连接； 其中，所述驱动机构200在启动后包含第一阶段和第二阶段，在所述第一阶段，所述驱动机构200驱动所述探头400、所述连杆组件310和所述套管组件320同步运动，在所述第二阶段，所述套管组件320相对于所述基座100停止运动，所述驱动机构200驱动所述探头400和所述连杆组件310运动； 所述探测装置11还包括弹性密封管500，所述弹性密封管500安装于所述基座100，所述弹性密封管500的两端分别与所述驱动机构200和所述基座100密封连接，所述弹性密封管500套设在所述传动机构300外用以密封所述传动机构300。
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