盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备(上海)有限公司杨超繁获国家专利权
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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备(上海)有限公司申请的专利管路拆装工装获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119927842B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411028309.1,技术领域涉及:B25B27/14;该发明授权管路拆装工装是由杨超繁;贾社娜;张大海设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本管路拆装工装在说明书摘要公布了:本申请公开了一种管路拆装工装,涉及半导体制造设备领域,管路拆装工装包括:两个钳臂,钳臂具有转动部,两个钳臂通过转动部交叉转动连接,在两个钳臂的转动部的一侧形成把手区域,在另一侧形成工作区域;至少一个夹持组件,夹持组件包括两个夹持件,分别与工作区域一侧的钳臂连接,夹持件上分别设置有夹持部,夹持部与对应的钳臂成直角设置,在夹持管路的状态下,管路与两个钳臂的中心轴线平行;检测部,设置于夹持件的末端,检测部被配置为:当管路平行于炉管设备的工艺管时,与炉管设备的工艺管的内壁接触;基座,与中心轴线垂直。在基座和检测部的相互配合下,有利于提高管路的安装精度,以确保管路安装的垂直度和平行度。
本发明授权管路拆装工装在权利要求书中公布了:1.一种管路拆装工装,用于对炉管设备中的管路进行拆卸或安装,其特征在于,包括: 两个钳臂,每个所述钳臂分别具有转动部,所述两个钳臂通过所述转动部交叉转动连接,在所述两个钳臂的转动部的一侧形成把手区域,在另一侧形成工作区域; 至少一个夹持组件,所述夹持组件包括两个夹持件,分别与所述工作区域一侧的钳臂连接,所述夹持件上分别设置有夹持部,所述夹持部与对应的钳臂成直角设置,在所述两个夹持件闭合时,所述夹持部形成与所述管路匹配的夹持区域,以对所述管路进行夹持,并且所述两个钳臂的中心轴线与所述管路平行; 检测部,设置于所述夹持件的末端,所述检测部被配置为:当所述管路平行于所述炉管设备的工艺管时,与所述炉管设备的工艺管的内壁接触; 基座,所述基座被配置为:在安装所述管路的过程中,所述基座与所述炉管设备的基准部配合,所述基座与所述中心轴线垂直,以保证所述管路安装的垂直度。
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