江苏凯威特斯半导体科技有限公司林艺民获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请的专利一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120079645B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510003969.2,技术领域涉及:B08B7/00;该发明授权一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法是由林艺民;王加林;尚明贵;杜薛林;唐畅;朱文健设计研发完成,并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法在说明书摘要公布了:一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法,涉及半导体零部件激光清洗技术领域,采集待清洗工件的三维几何数据和表面图像数据,构建待清洗工件的三维模型;对三维模型进行点云分析,将三维模型中各点的梯度、高斯曲率、平均曲率和纹理特征集标记为关键特征;将三维模型转换为拓扑无向图,在拓扑无向图中标记关键点和背景点,设置拓扑无向图中各个无向边的权重标注,将拓扑无向图中的节点划分为关键点和背景点;对三维模型中的关键点进行路径规划,获取激光清洗路径,构建激光参数控制模型,获取激光清洗路径中各个关键点的激光参数;对待清洗工件的激光清洗操作以及激光参数控制模型进行实时监控与反馈修正,从而提高清洗质量和效率。
本发明授权一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法在权利要求书中公布了:1.一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤s1:通过三维扫描终端采集待清洗工件的三维几何数据和表面图像数据,根据三维几何数据构建待清洗工件的三维模型; 步骤s2:对三维模型进行点云分析,获取三维模型中各点的梯度、高斯曲率和平均曲率,对待清洗工件的表面图像数据进行纹理分析,获取三维模型中各点的纹理特征集,将三维模型中各点的梯度、高斯曲率、平均曲率和纹理特征集标记为关键特征; 步骤s3:将三维模型转换为拓扑无向图,在拓扑无向图中标记关键点和背景点,设置拓扑无向图中各个无向边的权重标注,将拓扑无向图中的节点划分为关键点和背景点; 步骤s4:对三维模型中的关键点进行路径规划,获取激光清洗路径,构建激光参数控制模型,获取激光清洗路径中各个关键点的激光参数; 步骤s5:对待清洗工件的激光清洗操作以及激光参数控制模型进行实时监控与反馈修正; 设置拓扑无向图中各个无向边的权重标注,将拓扑无向图中的节点划分为关键点和背景点的过程包括: 将相邻节点之间的关键特征进行特征比较,获取相邻节点之间的关键特征相似度,根据相邻节点之间的关键特征相似度,设置相邻节点之间的无向边的权重标签,同时将各节点的关键特征分别与关键点和背景点的关键特征进行特征比较,获取各节点与关键点之间的关键特征相似度和各节点与背景点之间的关键特征相似度,根据各节点与关键点之间的关键特征相似度,设置各节点与关键点之间的无向边的权重标签,根据各节点与背景点之间的关键特征相似度,设置各节点与背景点之间的无向边的权重标签; 根据拓扑无向图中各个无向边的权重标签构建能量函数,基于能量函数利用图割算法对拓扑无向图进行分割,根据分割结果将拓扑无向图中的节点划分为关键点和背景点; 在拓扑无向图中标记关键点和背景点的过程包括: 获取待清洗工件的标准纹理参数,将拓扑无向图中每个点的纹理特征集与标准纹理参数进行特征匹配,获取每个点与标准纹理参数的纹理参数相似度,筛选出最小纹理参数相似度对应的点,将所述点标记为关键点,筛选出最大纹理参数相似度对应的点,将所述点标记为背景点。
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