美科陶瓷科技有限公司陈正哲获国家专利权
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龙图腾网获悉美科陶瓷科技有限公司申请的专利具有吹扫气体流路的基座获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120149192B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411723690.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权具有吹扫气体流路的基座是由陈正哲设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有吹扫气体流路的基座在说明书摘要公布了：本发明涉及一种具有用于供应吹扫气体的吹扫气体流路的基座。本发明提供一种基座，其包括埋设有发热体层的板以及接合于所述板的下端的中空型轴，所述板具有配置在与所述发热体层不同的平面上的吹扫气体流路层，所述吹扫气体流路层包括内部流路以及从所述内部流路向外侧延伸的多个辐射状分支流路。
本发明授权具有吹扫气体流路的基座在权利要求书中公布了：1.一种基座，其包括埋设有发热体层的板以及接合于所述板的下端的中空型轴，其特征在于， 所述板具有配置在与所述发热体层不同的平面上的吹扫气体流路层， 所述吹扫气体流路层包括： 内部流路；以及 多个辐射状分支流路，从所述内部流路向外侧延伸， 所述轴具有： 侧壁，沿着所述轴的长度方向延伸；以及 连接部，在所述侧壁的端部与所述板形成接合部位， 所述内部流路形成为与所述轴的连接部匹配的形状， 在投影到所述板的平面上，所述内部流路配置于所述连接部的轮廓内部， 所述轴具有侧壁流路，所述侧壁流路在所述侧壁的内部沿着所述侧壁的长度方向延伸， 在所述板中，在所述内部流路的下端形成有连通孔，所述连通孔与所述侧壁流路及所述内部流路对齐。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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