深圳市恒运昌真空技术股份有限公司林伟群获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223694047U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423027145.9,技术领域涉及:H05H1/46;该实用新型一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器是由林伟群;郭启亮;章兵设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器在说明书摘要公布了:本实用新型属于阻抗匹配器技术领域,具体涉及一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器。点火启辉装置应用于等离子体反应腔体,包括控制模块、驱动模块、点火模块和匹配模块,控制模块用于控制点火模块,点火模块启动时通过工频电源为等离子体反应腔体提供点火电压,同时控制模块控制驱动模块驱动匹配模块为等离子体腔体提供阻抗匹配信号,从而本实用新型提供的点火启辉装置能够实现体离子体反应腔体的快速启辉,并在点火启辉后提供阻抗匹配信号。
本实用新型一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器在权利要求书中公布了:1.一种点火启辉装置,应用于等离子体反应腔体,其特征在于,包括控制模块、驱动模块、点火模块和匹配模块; 所述控制模块的第一控制端连接所述驱动模块的输入端,用于将控制信号发送至所述驱动模块; 所述控制模块的第二控制端连接所述点火模块的信号输入端,用于将点火信号发送至所述点火模块; 所述驱动模块的控制端与所述匹配模块的受控端连接,用于根据所述控制信号以控制所述匹配模块; 所述点火模块用于向等离子体反应腔体提供点火电压,所述点火模块的输出端与所述匹配模块的输出端连接;所述点火模块的电力输入端连接工频电源的电力输出端; 所述匹配模块的输入端和输出端分别连接射频电源和等离子体反应腔体,用于接收射频电源的电力信号并传输至等离子体反应腔体。
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