三星电子株式会社金璱祺获国家专利权
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龙图腾网获悉三星电子株式会社申请的专利用于检查和制造光罩的方法以及制造半导体器件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112305852B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010632541.1，技术领域涉及：G03F1/24；该发明授权用于检查和制造光罩的方法以及制造半导体器件的方法是由金璱祺;宋弦昔;姜仁勇;李刚源;李周衡;张恩植设计研发完成，并于2020-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于检查和制造光罩的方法以及制造半导体器件的方法在说明书摘要公布了：本公开提供了用于检查和制造光罩的方法以及制造半导体器件的方法。在一个方面中，提供一种用于检查光罩的方法，该光罩包括光罩基板和在光罩基板上的反射层。该方法可以包括：将光罩装载于平台上；将光罩基板冷却至低于室温的温度；将激光束照射到在光罩基板上的反射层；使用光电检测器接收从反射层反射的激光束以获得反射层的图像；以及基于反射层的图像，检测在反射层上的颗粒缺陷或在反射层中的空隙缺陷。
本发明授权用于检查和制造光罩的方法以及制造半导体器件的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于检查光罩的方法，所述方法包括： 将所述光罩装载于平台上，所述光罩包括光罩基板和在所述光罩基板上的反射层； 将所述光罩基板冷却至低于室温的温度； 将激光束照射到在所述光罩基板上的所述反射层； 使用光电检测器接收从所述反射层反射的所述激光束以获得所述反射层的图像；以及 基于所述反射层的所述图像，检测在所述反射层上是否存在颗粒缺陷和或在所述反射层中是否存在空隙缺陷， 其中所述光罩基板被冷却至低于145开尔文，以减小所述反射层的热容并增大所述激光束的功率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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