三星显示有限公司李娥凜获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利掩模和包括该掩模的沉积装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113913742B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110771503.9,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权掩模和包括该掩模的沉积装置是由李娥凜;金桢国;金辉;宋昇勇;黄圭焕设计研发完成,并于2021-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模和包括该掩模的沉积装置在说明书摘要公布了:本发明的实施例涉及掩模和包括该掩模的沉积装置。所述掩模包括:主体单元,沉积开口被限定穿过所述主体单元;和突出单元,图案开口被限定穿过所述突出单元,并且所述突出单元从所述主体单元的拐角突出,其中所述主体单元的厚度大于所述突出单元的厚度。
本发明授权掩模和包括该掩模的沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种掩模,包括: 主体单元,沉积开口被限定穿过所述主体单元;和 突出单元,图案开口被限定穿过所述突出单元,并且所述突出单元仅从所述主体单元的拐角朝向所述沉积开口突出, 其中所述主体单元的厚度大于所述突出单元的厚度,并且 其中所述掩模被配置以在将沉积材料沉积在基底基板上的过程中使用,所述基底基板包括沉积区域,每个所述沉积区域由分别与所述掩模的所述突出单元和所述沉积开口重叠的第一区域和第二区域组成。
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