西安交通大学耿莉获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种基于超临界流体技术的Ni/NiO欧姆接触改善方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114864409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210466114.X，技术领域涉及：H01L21/443；该发明授权一种基于超临界流体技术的Ni/NiO欧姆接触改善方法是由耿莉;张英迪;杨明超;刘卫华设计研发完成，并于2022-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于超临界流体技术的Ni/NiO欧姆接触改善方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于超临界流体技术的NiNiO欧姆接触改善方法，在衬底材料上沉积NiO层，然后在NiO层的表面沉积金属镍电极，再对衬底材料进出退火处理得到欧姆接触，最后对衬底材料进行超临界反应，实现衬底材料的欧姆接触改善。解决现有热退火技术造成的NiNiO欧姆接触电阻率大，欧姆接触特性差的问题。
本发明授权一种基于超临界流体技术的Ni/NiO欧姆接触改善方法在权利要求书中公布了：1.一种基于超临界流体技术的NiNiO欧姆接触改善方法，其特征在于，在衬底材料上沉积NiO层，然后在NiO层的表面沉积金属镍电极，再对衬底材料进行退火处理得到欧姆接触，最后对衬底材料进行超临界反应，实现衬底材料的欧姆接触改善，超临界处理具体为： 将形成欧姆接触的衬底材料密封处理，然后充入反应气体，控制压强为15~25MPa，将衬底材料加热至100~200℃，保持1~2h后结束，反应气体为氧气、二氧化碳和笑气中的一种或多种。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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