株式会社村田制作所三村昌和获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社村田制作所申请的专利弹性波装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115668767B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180037234.1,技术领域涉及:H03H9/145;该发明授权弹性波装置是由三村昌和;手川总一郎设计研发完成,并于2021-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性波装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种能够更可靠地抑制构成IDT电极的Cu扩散到压电性基板的弹性波装置。本发明的弹性波装置具备:压电性基板2;以及IDT电极3,具有设置在压电性基板2上的阻挡层7外层和设置在阻挡层7上且以Cu为主成分的第1层5电极层,且具有多个电极指。第1层5包含:第1主面5a,位于压电性基板2侧;第2主面5b,与第1主面5a对置;以及侧面5c,与第1主面5a以及第2主面5b连接。阻挡层7覆盖第1层5的第1主面5a以及侧面5c。阻挡层7中的覆盖第1层5的第1主面5a的部分的厚度比阻挡层7中的覆盖第1层5的侧面5c的部分的厚度薄。
本发明授权弹性波装置在权利要求书中公布了:1.一种弹性波装置,具备: 压电性基板;以及 IDT电极,具有外层和电极层,且具有多个电极指,所述外层设置在所述压电性基板上,所述电极层设置在所述外层上且以Cu为主成分, 所述电极层包含: 第1主面,位于所述压电性基板侧; 第2主面,与所述第1主面对置;以及 侧面,与所述第1主面以及所述第2主面连接, 所述外层覆盖所述电极层的所述第1主面以及所述侧面, 所述外层中的覆盖所述电极层的所述第1主面的部分的厚度比所述外层中的覆盖所述电极层的所述侧面的部分的厚度薄, 所述外层包含金属的氧化物。
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