徐州晶睿半导体装备科技有限公司王龙获国家专利权
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龙图腾网获悉徐州晶睿半导体装备科技有限公司申请的专利一种确定引晶过程中晶棒光圈区域的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115961340B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111174627.5,技术领域涉及:C30B15/26;该发明授权一种确定引晶过程中晶棒光圈区域的方法是由王龙设计研发完成,并于2021-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种确定引晶过程中晶棒光圈区域的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种确定引晶过程中晶棒光圈区域的方法,包括如下步骤:建立坐标体系,以光圈的灰度图建立坐标体系,X轴为行数,Y轴为列数,图像上的每一点x,y对应一个像素值;根据行像素点平均值,确定界面M所在的行数;将界面M所在的行以下的区域处理呈黑色,界面M所在的行以上的区域极为光圈区域。本发明的方法可以大大降低光圈的阈值,即使光圈的亮度发生较大的变化,也不会引发误检测,大大提高光圈检测的稳定性,同时可以提高系统的抗干扰性。本方法在对直径以及液面高度测量的计算前期对图像进行除倒影预处理,为后面晶棒生长过程中直径及液面高度测量的稳定性。
本发明授权一种确定引晶过程中晶棒光圈区域的方法在权利要求书中公布了:1.一种确定引晶过程中晶棒光圈区域的方法,其特征在于,包括如下步骤: 1建立坐标体系 以光圈的灰度图建立坐标体系,X轴为行数,Y轴为列数,图像上的每一点x,y对应一个像素值,行数R、列数C和像素值在相机中自动存储,为已知数据; 2根据行像素点平均值,确定界面M所在的行数; 3将界面M所在的行以下的区域处理呈黑色,界面M所在的行以上的区域极为光圈区域,步骤2中,以行数为横坐标,行像素平均值为纵坐标,作曲线AVG图,通过波谷M确定界面M行数范围,对曲线AVG图进行求导,得变化率DEV=AVG',同时对导数作图,图中变化率最大的为N点,参考行像素平均值和导数对照表,界面M所在的行数为距离N点最近,且行数大于N点,且行像素平均值最小的点所在的行数。
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