万华化学集团电子材料有限公司崔晓坤获国家专利权
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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种减少划伤的钨插塞化学机械抛光液获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116445916B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210009303.4，技术领域涉及：C23F3/04；该发明授权一种减少划伤的钨插塞化学机械抛光液是由崔晓坤;卫旻嵩;卞鹏程;王庆伟;徐贺;李国庆;王瑞芹;王永东设计研发完成，并于2022-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减少划伤的钨插塞化学机械抛光液在说明书摘要公布了：本发明公开了一种减少划伤的钨插塞化学机械抛光液及其应用，所述抛光液包含如下质量百分含量的组分：2%‑20%研磨剂、0.5％～5％的氧化剂、0.01％～0.5％的钨催化剂，0.01%‑0.05%的含有多羟基和羧基的物质，其余部分为去离子水。本发明的抛光组合物具有抛光速率快、表面质量好、稳定性优异等特点。
本发明授权一种减少划伤的钨插塞化学机械抛光液在权利要求书中公布了：1.一种减少划伤的钨插塞化学机械抛光液，其特征在于，包含如下质量百分含量的组分：2％-20％的研磨剂、0.5％～5％的氧化剂、0.01％～0.5％钨催化剂，0.01％-0.05％的含有多羟基和羧基的物质，其余部分为去离子水； 所述含有多羟基和羧基的物质选自D-核糖己酸、L-鼠李糖酸中的一种或两种；所述抛光液的pH值为2.0-2.5； 所述研磨剂为气相二氧化硅，所述的氧化剂为过氧化氢，所述钨催化剂为硝酸铁。
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