华中科技大学朱广志获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于声光偏转器与转镜的激光微纳加工装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119703337B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411903103.9,技术领域涉及:B23K26/0622;该发明授权一种基于声光偏转器与转镜的激光微纳加工装置及方法是由朱广志;王浩然;初奕航;肖晨悦;欧阳敬;乐轶瀚设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于声光偏转器与转镜的激光微纳加工装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及激光微纳加工领域,具体涉及一种基于声光偏转器与转镜的激光微纳加工装置及其使用方法,包括依次设置的脉冲激光器、反射镜组、声光偏转模块、信号控制单元、分束模块、转镜、平场聚焦透镜;声光偏转模块包括第一声光偏转器和第二声光偏转器,所述第一声光偏转器和第二声光偏转器正交放置,所述第一声光偏转器与所述转镜的旋转轴相互平行放置,所述第二声光偏转器与所述转镜的旋转轴相互垂直放置,通过设置两个正交放置的声光偏转器,灵活控制激光束偏转到矩形扫描区域内的任意位置,再结合多边形转镜,可实现多边形转镜沿加工轨迹仅旋转一次,声光偏转器对加工图案进行补偿填充,达到能实现任意形状的技术效果。
本发明授权一种基于声光偏转器与转镜的激光微纳加工装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于声光偏转器与转镜的激光微纳加工装置的加工方法,其特征在于,所述激光微纳加工装置包括: 脉冲激光器1、反射镜组3、声光偏转模块4、信号控制单元5、分束模块6、转镜7、平场聚焦透镜8; 所述脉冲激光器1用于提供脉冲激光; 所述反射镜组3用于将所述脉冲激光器1输出的激光经反射后进入所述声光偏转模块4,并保持所述激光以布拉格角入射至所述声光偏转模块4,改变所述激光的偏转位置;所述声光偏转模块4包括第一声光偏转器41和第二声光偏转器42,所述第一声光偏转器41和第二声光偏转器42正交放置,所述第一声光偏转器41与所述转镜7的旋转轴相互平行放置,所述第二声光偏转器42与所述转镜7的旋转轴相互垂直放置;利用两个正交放置的声光偏转器,形成一个矩形的扫描区域; 所述信号控制单元5控制所述声光偏转模块4,用于向所述声光偏转模块4中输入设置的频率信号; 所述分束模块6用于将所述激光分为彼此相互平行的光束输出,实现分光; 所述转镜7用于反射所述相互平行的光束至平场聚焦透镜8,所述平场聚焦透镜8用于将所述光束汇聚于焦点,所述焦点处用于放置待加工的部件;所述激光微纳加工装置还包括扩束准直装置2、加工部件9、位移台10、摄影机11、中央控制单元12; 所述扩束准直装置2设置于所述脉冲激光器1和所述反射镜组3之间,用于将所述脉冲激光器1输出的激光扩束准直后出射; 所述加工部件9固定设置于所述位移台10上,能够随着所述位移台10进行运动; 所述摄影机11用于实时监测所述加工部件9的加工情况,并实时反馈; 所述中央控制单元12分别与所述转镜7、所述信号控制单元5、所述摄影机11及所述位移台10相连接; 所述加工方法具体为: 1脉冲激光器提供脉冲激光,所述激光经过扩束准直装置后再经反射镜组反射后,以布拉格角入射至所述声光偏转模块;所述声光偏转模块由信号控制单元发出的频率信号控制,以改变从声光偏转模块中射出的光束的偏转角度; 2从所述声光偏转模块射出的激光通过分束模块将所述激光分为彼此相互平行的光束,实现分光; 3通过分束模块输出的分光通过匀速转动的转镜,将所述相互平行的光束反射至平场聚焦透镜,通过平场聚焦透镜将所述光束汇聚于焦点,所述焦点用于对加工部件进行加工; 4将中央控制单元分别与所述转镜、所述信号控制单元、所述摄影机及所述位移台相连接,通过中央控制单元向所述信号控制单元、转镜及位移台发出控制信号;所述中央控制单元预先储存的参数有所述转镜的旋转速度、所述位移台的运动方向,以及控制所述信号控制单元向所述声光偏转模块发射的驱动信号,以使所述声光偏转模块加载相应的射频信号频率; 5采用摄影机实时监控加工情况,向中央控制单元反馈加工位置、加工精度及加工速度的参数,中央控制单元接收到信号后,将信号发送给所述转镜、位移台及信号控制单元,以对所述转镜的旋转速度、所述位移台的运动方向,以及控制所述信号控制单元向所述声光偏转模块发射的驱动信号进行调整,使加工保持最优状态。
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