江苏神州半导体科技有限公司朱培文获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利等离子发生器的实时监控系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119739970B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411851858.9,技术领域涉及:G06F18/10;该发明授权等离子发生器的实时监控系统及方法是由朱培文设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子发生器的实时监控系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及离子发生器技术领域,公开了等离子发生器的实时监控系统及方法,该方法收集并预处理等离子发生器的历史运行数据、环境条件及配置参数,构建运行指标预测模型。通过实时获取当前数据并输入模型,预测未来运行指标,并与实时运行指标对比,标记偏差点。将状态监控过程建模为马尔可夫决策过程,定义状态空间、动作空间、奖励函数及输出策略,通过强化学习算法优化调整动作。基于训练好的状态监控决策模型进行实时监控,自动或经操作人员确认后执行最优调整动作。本发明实现了对等离子发生器的智能化状态监控和预测性维护,有效提升了设备性能及系统稳定性,具有显著的工业应用价值。
本发明授权等离子发生器的实时监控系统及方法在权利要求书中公布了:1.等离子发生器的实时监控方法,其特征在于,所述方法包括: 收集等离子发生器在历史运行中的运行指标时间序列数据,以及运行时的环境条件和等离子发生器的配置参数;并对收集的数据进行预处理,形成特征数据集; 针对等离子发生器构建运行指标预测模型,该模型基于特征数据集,结合环境条件和等离子发生器配置参数,预测等离子发生器在未来一段时间内的运行指标变化趋势; 实时获取等离子发生器的当前配置参数数据和环境条件数据,并将获取的数据输入运行指标预测模型,接收模型输出的预测运行指标; 获取等离子发生器实时的运行指标数据;将获取的实时运行指标数据和模型输出的预测运行指标数据分别绘制成随时间变化的曲线,对两条曲线进行时间戳对齐,并将两支曲线置于同一坐标系中进行比较;进一步设定性能偏差阈值,判断两支曲线上的每个对应点是否存在超出阈值的偏差,若存在则标记为偏差点; 构建状态监控决策模型,将等离子发生器的状态监控过程建模为马尔可夫决策过程,具体定义包括:①状态空间:定义为等离子发生器的实时运行指标数据、配置参数和环境条件数据的组合;②动作空间:定义为可执行的监控或调整操作集合;③奖励函数:依据等离子发生器的稳定运行和性能优化目标设计,包含状态稳定性、性能保持和能效提升的奖励机制,同时结合监测到的性能偏差数据,对减少偏差的操作给予额外奖励,对增大偏差的操作给予额外惩罚;④输出策略:定义为在当前状态下选择最优动作的方法,通过强化学习算法不断优化生成的调整动作; 基于训练好的状态监控决策模型进行实时监控,实时收集等离子发生器的配置参数和环境条件数据,作为模型输入,根据当前状态和策略选择最优的调整动作,并将决策结果自动执行或通过监控系统传输给操作人员确认后执行。
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