东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司何跃获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利一种晶圆取放装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786429B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411920105.9，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆取放装置是由何跃设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆取放装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆取放装置，用于在吸盘上取放晶圆。晶圆取放装置包括：多个承载柱，用于从吸盘上的通孔穿过，并配置成通过升降将晶圆从吸盘的顶面上顶出以及将顶端的晶圆放置在吸盘上；支撑盘，与多个承载柱的底端连接；连接件，与支撑盘连接并向吸盘的径向外侧伸出；升降座，设置于连接件从支撑盘伸出的部分上；限位座，其设置有沿竖向设置的限位导轨，升降座通过滑块与限位导轨配合，以利用限位导轨限定滑块和升降座的升降轨迹，限位座通过多个第一调节顶丝固定于工作区。实现承载柱升降的同时取消了球头杠杆机构，从而避免了球头杠杆机构的产生的问题，且能够通过第一调节顶丝调整限位座来灵活调节支撑盘相对于吸盘的平行程度。
本发明授权一种晶圆取放装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆取放装置，用于在吸盘上取放晶圆，并且所述晶圆取放装置包括： 多个承载柱，用于从所述吸盘上的通孔穿过，其顶端用于放置所述晶圆，并配置成通过升降将所述晶圆从所述吸盘的顶面上顶出以及将顶端的所述晶圆放置在所述吸盘上； 支撑盘，与所述多个承载柱的底端连接； 连接件，其与所述支撑盘连接，并从所述支撑盘向所述吸盘的径向外侧伸出； 升降座，设置于所述连接件从所述支撑盘伸出的部分上，与所述连接件一同升降； 限位座，其设置有沿竖向设置的限位导轨，所述升降座通过滑块与所述限位导轨配合，以利用所述限位导轨限定所述滑块和所述升降座的升降轨迹，以及所述限位座设有多个第一调节顶丝，以通过所述多个第一调节顶丝固定于工作区，所述多个第一调节顶丝用于调整所述限位座相对于水平面的倾斜度。
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