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龙图腾网获悉宁波大学申请的专利一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制备和测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804281B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411733400.3，技术领域涉及：G01N17/00；该发明授权一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制备和测量方法是由曹任涛;尹加文;金庆辉;林娟;仝晗阳;李守宏;孙雅哲;车亚辰设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制备和测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制备和测量方法，包括：硅基片，上表面和下表面分别设有SiO2绝缘层和第一Si3N4薄膜；第一Pt电阻，设于SiO2绝缘层的上表面，上表面沉积有第二Si3N4薄膜，第一Pt电阻沿硅基片长度方向的两侧设有第一Au叉指电极；第二Pt电阻，设于第一Si3N4薄膜的下表面；第三Pt电阻，设于SiO2绝缘层上的黏附层的上表面，表面沉积有第三Si3N4薄膜，第三Si3N4薄膜的上表面设有图案化的第二Au叉指电极，第二Au叉指电极的上表面沉积有PI薄膜。有益效果是本发明通过“类镂空窗花形”叉指微电极减少湿润时间，能够实现传感器本体和盐雾气体温度和热交换的高精度测量，通过数据补偿消除温湿度对电导率检测的影响，并加速脱附过程，减小湿滞。

本发明授权一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制备和测量方法在权利要求书中公布了：1.一种盐雾环境参数检测微纳传感器，其特征在于，包括： 硅基片1，所述硅基片1的上表面设有SiO2绝缘层2，所述硅基片1的下表面沉积有第一Si3N4薄膜3，所述SiO2绝缘层2和所述第一Si3N4薄膜3的表面均设有黏附层； 第一Pt电阻4，设于所述SiO2绝缘层2上的所述黏附层的上表面，所述第一Pt电阻4的上表面沉积有第二Si3N4薄膜5，所述第一Pt电阻4沿所述硅基片1长度方向的两侧设有图案化的类镂空窗花形的第一Au叉指电极6； 第二Pt电阻7，设于所述第一Si3N4薄膜3上的所述黏附层的下表面； 第三Pt电阻8，设于所述SiO2绝缘层2上的所述黏附层的上表面，并位于所述第一Pt电阻4沿所述硅基片1长度方向的一侧，所述第三Pt电阻8的表面沉积有第三Si3N4薄膜9，所述第三Si3N4薄膜9的上表面设有图案化的第二Au叉指电极10，所述第二Au叉指电极10的上表面沉积有PI薄膜11； 所述第一Au叉指电极6包括： 两个矩形焊盘61，两个所述矩形焊盘61沿所述硅基片1宽度方向的一侧分别连接一长条电极连接件62的一端，两个所述长条电极连接件62之间设有沿自身长度方向交替间隔排列的多个第一长条金属电极63和第二长条金属电极64，各所述第一长条金属电极63的一端与其中一所述长条电极连接件62固定连接，各所述第一长条金属电极63的另一端与另一所述长条电极连接件62之间具有间隙，各所述第二长条金属电极64的一端与另一所述长条电极连接件62固定连接，各所述第二长条金属电极64的另一端与其中一所述长条电极连接件62之间具有间隙，且相邻的所述第一长条金属电极63和所述第二长条金属电极64之间设有沿自身长度方向交替间隔排列的多个第一T型金属电极65和第二T型金属电极66，各所述第一T型金属电极65的凸起67朝向其中一所述长条电极连接件62，各所述第二T型金属电极66的凸起67朝向另一所述长条电极连接件62。

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