广东省科学院半导体研究所刘珠明获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省科学院半导体研究所申请的专利一种用于CD-SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119831973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510010170.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种用于CD-SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统是由刘珠明;陈德龙;吴和明;葛进国;陈杏文;朱亚楠;张子彤;陈志涛设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CD-SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于CD‑SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统，其模型构建方法包括：获取数据集，所述数据集包括至少一组具有邻近效应特征的数据组，每组数据组均包括有标准数据以及SE信号组，所述标准数据包括深宽比数据和或高度数据，具有邻近效应特征的数据组中的SE信号组为对具有相邻结构的几何结构进行电子束扫描产生的二次电子信号；以数据集中的同组数据组内的SE信号组为输入，以同组数据组内的标准数据为输出，对预先构建的神经网络模型进行训练，得到用于在CD‑SEM量测中对深宽比数据和或高度数据进行预测的参数预测模型。本发明无需对硬件结构进行修改，从而不存在对硬件结构复杂化的问题，不存在可靠性影响的问题。
本发明授权一种用于CD-SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统在权利要求书中公布了：1.一种用于CD-SEM量测的参数预测模型生成方法，其特征在于，包括： 获取数据集，所述数据集包括至少一组具有邻近效应特征的数据组，每组数据组均包括有标准数据以及SE信号组，所述标准数据包括深宽比数据和或高度数据，具有邻近效应特征的数据组中的SE信号组为对具有相邻结构的几何结构进行电子束扫描产生的二次电子信号，所述二次电子信号包含高度参数、侧壁角参数和间距参数的改变情况； 以数据集中的同组数据组内的SE信号组为输入，以同组数据组内的标准数据为输出，对预先构建的神经网络模型进行训练，得到用于在CD-SEM量测中对深宽比数据和或高度数据进行预测的参数预测模型。
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