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龙图腾网获悉上海中科飞测半导体科技有限公司申请的专利一种光学检测设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119915819B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411832911.0，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种光学检测设备及其控制方法是由张鹏斌;梁文军;王福旺;仇志远;刘健鹏设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学检测设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种光学检测设备及其控制方法，光学检测设备包括：复检光源、明场光源和暗场光源，明场信号光、暗场信号光和复检信号光沿共同光路传输；收集反射元件，收集反射元件用于收集明场信号光和暗场信号光并进行空间分离，使明场信号光反射进入第一传输路径以进行明场成像，使暗场信号光进入第二传输路径以进行暗场成像；反射镜元件，反射镜元件设置于复检信号光的传输路径上，用于将复检信号光反射至第三传输路径以进行复检成像；复检光为频闪光束以减弱复检信号光在复检成像时产生的拖影，复检信号光经反射镜元件发生全反射以减小光强衰减，本发明至少有利于提升复检的检测精度。

本发明授权一种光学检测设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种光学检测设备，其特征在于，包括： 复检光源，所述复检光源发出复检光，所述复检光入射至待检样品表面，并经所述待检样品反射形成复检信号光； 发出明场光的明场光源和发出暗场光的暗场光源，所述明场光和所述暗场光分别入射至待检样品表面，所述明场光经所述待检样品反射形成明场信号光，所述暗场光经所述待检样品散射形成暗场信号光，所述复检光与所述明场光具有共同传输光路，且所述复检光与所述明场光传输时互不重合，明场光斑和暗场光斑关于视场中心对称分布，复检光斑的中心与视场中心重合，暗场光斑和明场光斑之间的距离在0.2mm至3mm的范围内，所述明场信号光、所述暗场信号光和所述复检信号光沿共同光路传输，在所述共同光路中，所述复检信号光位于所述暗场信号光和所述明场信号光之间，所述复检信号光、所述暗场信号光以及所述明场信号光通过相互的空间隔离保持互不重合； 收集反射元件，所述收集反射元件用于收集所述明场信号光和所述暗场信号光并进行空间分离，使所述明场信号光反射进入第一传输路径以进行明场成像，使所述暗场信号光进入第二传输路径以进行暗场成像； 反射镜元件，所述反射镜元件设置于所述复检信号光的传输路径上，用于将所述复检信号光反射至第三传输路径以进行复检成像； 所述复检光为频闪光束以减弱所述复检信号光在复检成像时产生的拖影，所述复检信号光经所述反射镜元件发生全反射以减小光强衰减。

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