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龙图腾网获悉埃特曼(北京)半导体技术有限公司申请的专利分子束外延设备的样品台及分子束外延设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120425453B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510374100.9，技术领域涉及：C30B23/02；该发明授权分子束外延设备的样品台及分子束外延设备是由楼厦;倪健;赵金堂设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本分子束外延设备的样品台及分子束外延设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种分子束外延设备的样品台及分子束外延设备。包括：托盘，用于承托待加工晶圆；托盘的中间镂空，使待加工晶圆的底面的部分露出，以用于外延生长；叉持件，从托盘的外周连接托盘，以固定托盘；叉持件的内侧设置有至少两个周向间隔分布的凸起物连接托盘的外侧；或者，托盘的外侧设置有至少两个周向间隔分布的凸起物连接叉持件的内侧，以减少热损失；支撑梁，设置有第一连接法兰，并通过第一连接法兰吊装在旋转机构的下方，以跟随旋转机构的转动而转动；支撑梁位于叉持件的上方；至少两个支撑柱，在竖直方向上连接叉持件和支撑梁，使叉持件和支撑梁联动。本申请的技术方案，能降低加热机构的能耗。

本发明授权分子束外延设备的样品台及分子束外延设备在权利要求书中公布了：1.一种分子束外延设备的样品台，其特征在于，包括叉持机构、加热机构、旋转机构、馈通机构和支撑机构；其中，所述叉持机构包括： 托盘，用于承托待加工晶圆；所述托盘的中间镂空，使所述待加工晶圆的底面的部分露出，以用于外延生长； 叉持件，从所述托盘的外周连接所述托盘，以固定所述托盘；所述叉持件的内侧设置有至少两个周向间隔分布的凸起物连接所述托盘的外侧；或者，所述托盘的外侧设置有至少两个周向间隔分布的凸起物连接所述叉持件的内侧，以减少热损失； 支撑梁，设置有第一连接法兰，并通过所述第一连接法兰吊装在所述旋转机构的下方，以跟随所述旋转机构的转动而转动；所述支撑梁位于所述叉持件的上方； 至少两个支撑柱，在竖直方向上连接所述叉持件和所述支撑梁，使叉持件和支撑梁联动； 所述加热机构包括： 加热衬板，位于所述支撑梁和所述托盘之间； 加热组件，固定设置于所述加热衬板的底部，以对位于所述托盘上的待加工晶圆进行加热；所述加热组件包括至少一个加热件，所述加热件由加热丝沿预设形状轨迹卷绕而成，使得所述加热件至少在部分区域的竖直方向有上下间隔的两段加热丝； 所述加热组件的边缘的加热丝密度大于所述加热件的中间的加热丝密度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人埃特曼(北京)半导体技术有限公司，其通讯地址为：101300 北京市顺义区文良街15号院2号楼D1-D2区(科技创新产业功能区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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