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龙图腾网获悉深圳市道格特科技有限公司申请的专利探针性能测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120446849B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510940174.4，技术领域涉及：G01R35/00；该发明授权探针性能测试方法是由蒋文德;娄兆一;邱雄设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本探针性能测试方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种探针性能测试方法，涉及半导体测试技术领域，公开了探针性能测试方法，包括：将探针卡测试母板的牛角接头与测试机连接，以将测试机的资源传导到牛角接头上，然后打开探针卡测试母板的盖板，将待测的探针卡放置在探针卡测试母板的探针卡固定板上，并将盖板压合至探针卡固定板上，使得盖板的导电连接件和探针电气连接；最后通过探针测试装置对探针卡上的探针进行性能测试。本实施例能够实现探针与测试机之间的快速连接，从而使得探针测试能够顺利、高效开展，大大提升了探针性能测试效率。

本发明授权探针性能测试方法在权利要求书中公布了：1.一种探针性能测试方法，其特征在于，包括： 将探针卡测试母板的牛角接头与测试机连接； 打开所述探针卡测试母板的盖板，在探针卡固定板上放置校准治具，所述校准治具包括玻璃板，所述玻璃板上设计有多个靶点； 通过激光测距模块对各个所述靶点进行跟踪测量，得到各个所述靶点的测量值； 若各个所述靶点的测量值之间的差值超出预设误差范围，则通过调平机构调整所述探针卡固定板的水平状态，直至各个所述靶点的测量值之间的差值在所述预设误差范围内； 将待测的探针卡放置在所述探针卡测试母板的探针卡固定板上，其中，所述探针卡固定板与所述盖板可转动连接； 将真空吸附装置的管路接口通过导管与真空泵连接，并对设置在探针卡固定板上的各个压力传感器进行零点校准； 闭合盖板，并将锁紧装置的螺纹连接杆插入探针卡固定板上的相应螺孔；所述锁紧装置包括手柄和螺纹连接杆，所述螺纹连接杆贯穿盖板并向下延伸，所述螺纹连接杆设置有螺纹，用于与所述探针卡固定板上的相应螺孔配合；闭合盖板时，所述螺纹连接杆的尾部嵌入相应的螺孔，以实现所述盖板与所述探针卡固定板的卡接； 启动真空泵，执行真空吸附，并监控各个压力传感器检测到的压力值；若各个压力值之间的差值在预设压力误差范围内，则停止真空吸附操作； 若各个压力值之间的差值不在预设压力误差范围内，则旋转手柄，调节螺纹连接杆与螺孔之间的旋入深度，直至各个压力值之间的差值在预设压力误差范围内，并停止真空吸附操作； 通过锁紧装置将盖板与探针卡固定板锁紧，使得所述盖板的导电连接件和所述探针卡电气连接； 通过探针测试装置对所述探针卡上的探针进行性能测试。

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