上海隐冠半导体技术有限公司禹洪亮获国家专利权
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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利晶圆对准装置及其对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120511227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511008980.4，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆对准装置及其对准方法是由禹洪亮;吴火亮;郝振州设计研发完成，并于2025-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆对准装置及其对准方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆对准装置及其对准方法。该晶圆对准装置包括工作台；上晶圆运动系统，包括：用于承载上晶圆的上晶圆载板；下晶圆运动系统，包括用于承载下晶圆的下晶圆载板；还包括：第一视觉检测系统，设置于上晶圆运动系统上方；第一视觉检测系统包括：Y轴运动组件、Z轴运动组件、视觉器件，Y轴运动组件能够带动视觉器件沿Y轴方向运动，Z轴运动组件能够带动视觉器件沿Z轴方向运动；第一安装架，第一安装架设置在工作台上，第一安装架包括沿X轴方向延伸的第一横梁；Y轴运动组件包括：活动组件，活动组件套设在第一横梁上并能够沿第一横梁运动；气足组件，活动组件通过气足组件与第一横梁气浮配合。
本发明授权晶圆对准装置及其对准方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对准装置，包括： 工作台1； 上晶圆运动系统2，包括：用于承载上晶圆的上晶圆载板21； 下晶圆运动系统3，包括用于承载下晶圆的下晶圆载板31； 其特征在于，还包括： 第一视觉检测系统5，设置于所述上晶圆运动系统2上方； 所述第一视觉检测系统5包括： Y轴运动组件、Z轴运动组件59、视觉器件52，所述Y轴运动组件能够带动所述视觉器件52沿Y轴方向运动，所述Z轴运动组件59能够带动所述视觉器件52沿Z轴方向运动； 第一安装架4，所述第一安装架4设置在所述工作台1上，所述第一安装架4包括沿X轴方向延伸的第一横梁41； 所述Y轴运动组件包括：活动组件58，所述活动组件58套设在所述第一横梁41上并能够沿所述第一横梁41运动； 气足组件，所述活动组件58通过所述气足组件与所述第一横梁41气浮配合。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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