北京集成电路装备创新中心有限公司张渊明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京集成电路装备创新中心有限公司申请的专利一种立式炉的吹扫清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120734042B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510740787.3，技术领域涉及：B08B5/02；该发明授权一种立式炉的吹扫清洁方法是由张渊明;吕龙云;王子安;秦芳设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式炉的吹扫清洁方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种立式炉的吹扫清洁方法，涉及半导体制造技术领域，为解决相关技术提供的采用吹扫气体去除炉体内部膜层的工艺中，存在边缘部位吹扫清洁效果不佳的问题而设计。该立式炉的吹扫清洁方法包括提供立式炉的工艺腔，工艺腔的内部积累有待去除的薄膜；分阶段执行吹扫阶段，分阶段向工艺腔通入用于去除薄膜的吹扫气体，其中，每一吹扫阶段通入的吹扫气体的流量，均多于前一吹扫阶段通入的吹扫气体的流量；执行清洁阶段，对工艺腔内部的压力进行脉冲式调节。本发明使得吹扫气体能够更容易到达并清洁工艺腔内部的边缘部位，从而保证了对这些部位的吹扫清洁效果。
本发明授权一种立式炉的吹扫清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种立式炉的吹扫清洁方法，其特征在于，包括： 提供立式炉的工艺腔，所述工艺腔的内部积累有待去除的薄膜；所述工艺腔的内部形成沿上下方向的温度梯度，所述工艺腔上部的温度高于所述工艺腔下部的温度； 分阶段执行吹扫阶段，分阶段向所述工艺腔通入用于去除所述薄膜的吹扫气体，其中，每一吹扫阶段通入的所述吹扫气体的流量，均多于前一吹扫阶段通入的所述吹扫气体的流量；以及 执行清洁阶段，对所述工艺腔内部的压力进行脉冲式调节。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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